SemiceraSiC lapátokminimális hőtágulásra tervezték, stabilitást és pontosságot biztosítva olyan folyamatokban, ahol a méretpontosság kritikus. Ez ideálissá teszi őket olyan alkalmazásokhoz, aholostyákismételt fűtési és hűtési ciklusoknak vannak kitéve, mivel az ostyahajó megőrzi szerkezeti integritását, biztosítva az egyenletes teljesítményt.
A Semicera-t magába foglalvaszilícium-karbid diffúziós lapátokA gyártósorba való bejutás kiváló termikus és kémiai tulajdonságaiknak köszönhetően növeli a folyamat megbízhatóságát. Ezek a lapátok tökéletesek a diffúziós, oxidációs és izzítási folyamatokhoz, biztosítva, hogy az ostyákat minden lépésben gondosan és pontosan kezeljék.
Az innováció a Semicera középpontjában állSiC lapáttervezés. Ezeket a lapátokat úgy alakították ki, hogy zökkenőmentesen illeszkedjenek a meglévő félvezető berendezésekhez, így fokozott kezelési hatékonyságot biztosítanak. A könnyű szerkezet és az ergonómikus kialakítás nemcsak javítja az ostya szállítását, hanem csökkenti a működési állásidőt is, ami az áramvonalasabb gyártást eredményezi.
| Az újrakristályosított szilícium-karbid fizikai tulajdonságai | |
| Ingatlan | Tipikus érték |
| Üzemi hőmérséklet (°C) | 1600°C (oxigénnel), 1700°C (redukáló környezet) |
| SiC tartalom | > 99,96% |
| Ingyenes Si tartalom | < 0,1% |
| Térfogatsűrűség | 2,60-2,70 g/cm3 |
| Látszólagos porozitás | < 16% |
| Nyomószilárdság | > 600 MPa |
| Hideg hajlítószilárdság | 80-90 MPa (20°C) |
| Meleg hajlítószilárdság | 90-100 MPa (1400°C) |
| Hőtágulás 1500°C-on | 4,70 10-6/°C |
| Hővezetőképesség @1200°C | 23 W/m•K |
| Rugalmassági modulus | 240 GPa |
| Hőütésállóság | Rendkívül jó |
