SiC bevonattalGrafit félhold részkulcsfontosságú alkatrész, amelyet a félvezetőgyártási folyamatokban használnak, különösen a SiC epitaxiális berendezésekben.Szabadalmaztatott technológiánkkal készítjük a félhold alkatrészt rendkívül nagy tisztasággal, jó bevonategyenletességgel és kiváló élettartammal, valamint magas vegyszerállóságú és hőstabilitási tulajdonságokkal.
