A szilícium-karbid bevonat bemutatása
Kémiai gőzleválasztásos (CVD) szilícium-karbid (SiC) bevonatunk egy rendkívül tartós és kopásálló réteg, amely ideális a magas korrózió- és hőállóságot igénylő környezetekhez.Szilícium-karbid bevonatvékony rétegben kerül felhordásra különböző hordozókra a CVD eljárás során, kiváló teljesítményjellemzőket kínálva.
Főbb jellemzők
● -Kivételes tisztaság: Ultra-tiszta összetételével büszkélkedhet99,99995%, a miénkSiC bevonatminimalizálja a szennyeződés kockázatát az érzékeny félvezető műveleteknél.
● - Kiváló ellenállás: Kiválóan ellenáll a kopással és a korrózióval szemben, így tökéletes a kihívást jelentő vegyi és plazma beállításokhoz.
● -Magas hővezető képesség: Kiváló termikus tulajdonságainak köszönhetően megbízható teljesítményt biztosít szélsőséges hőmérsékleten.
● - Méretstabilitás: Alacsony hőtágulási együtthatójának köszönhetően széles hőmérséklet-tartományban megőrzi szerkezeti integritását.
● - Fokozott keménység: Keménységi fokozattal40 GPa, SiC bevonatunk jelentős ütéseknek és kopásnak ellenáll.
● - Sima felületkezelés: Tükörszerű felületet biztosít, csökkenti a részecskeképződést és javítja a működési hatékonyságot.
Alkalmazások
Semicera SiC bevonatokA félvezetőgyártás különböző szakaszaiban használják, beleértve:
● -LED chip gyártás
● -Poliszilícium gyártás
● -Félvezető kristálynövekedés
● -Szilícium és SiC Epitaxy
● -Termikus oxidáció és diffúzió (TO&D)
Nagy szilárdságú izosztatikus grafitból, szénszál-erősítésű szénből és 4N átkristályosított szilícium-karbidból készült SiC bevonatú alkatrészeket szállítunk fluidágyas reaktorokhoz,STC-TCS konverterek, CZ egység reflektorok, SiC ostyahajó, SiCwafer lapát, SiC ostyacső és ostyahordozók a PECVD-ben, szilícium epitaxiában, MOCVD folyamatokban.
Előnyök
● - Meghosszabbított élettartam: Jelentősen csökkenti a berendezések állásidejét és a karbantartási költségeket, javítva a termelés általános hatékonyságát.
● -Javított minőség: A félvezető feldolgozáshoz szükséges nagy tisztaságú felületeket éri el, ezzel javítva a termék minőségét.
● - Megnövelt hatékonyság: Optimalizálja a termikus és CVD folyamatokat, ami rövidebb ciklusidőt és nagyobb hozamot eredményez.
Műszaki előírások
● -Struktúra: FCC β fázisú polikristályos, főleg (111) orientált
● -Sűrűség: 3,21 g/cm³
● -Keménység: 2500 Vickes keménység (500g terhelés)
● - Törési szívósság: 3,0 MPa·m1/2
● -Hőtágulási együttható (100–600 °C): 4,3 x 10-6k-1
● -Elasztikus modulus(1300 ℃):435 GPa
● -Tipikus filmvastagság:100 µm
● -Felületi érdesség:2-10 µm
Tisztasági adatok (izzókisülési tömegspektroszkópiával mérve)
| Elem | ppm | Elem | ppm |
| Li | < 0,001 | Cu | < 0,01 |
| Be | < 0,001 | Zn | < 0,05 |
| Al | < 0,04 | Ga | < 0,01 |
| P | < 0,01 | Ge | < 0,05 |
| S | < 0,04 | As | < 0,005 |
| K | < 0,05 | In | < 0,01 |
| Ca | < 0,05 | Sn | < 0,01 |
| Ti | < 0,005 | Sb | < 0,01 |
| V | < 0,001 | W | < 0,05 |
| Cr | < 0,05 | Te | < 0,01 |
| Mn | < 0,005 | Pb | < 0,01 |
| Fe | < 0,05 | Bi | < 0,05 |
| Ni | < 0,01 |
|
