Ostyakezelő karegy kulcsfontosságú berendezés, amelyet a félvezető gyártási folyamatban használnak a kezeléshez, átvitelhez és elhelyezéshezostyák. Általában egy robotkarból, egy megfogóból és egy vezérlőrendszerből áll, precíz mozgási és pozicionálási lehetőségekkel.Ostyakezelő karokszéles körben használják a félvezetőgyártás különböző szakaszaiban, beleértve az olyan folyamatlépéseket, mint az ostya betöltés, tisztítás, vékonyréteg-lerakás, maratás, litográfia és ellenőrzés. Precizitása, megbízhatósága és automatizálási képességei elengedhetetlenek a gyártási folyamat minőségének, hatékonyságának és következetességének biztosításához.
Az ostyakezelő kar fő funkciói a következők:
1. Ostyaátvitel: Az ostyakezelő kar képes pontosan áthelyezni az ostyákat egyik helyről a másikra, például kiveszi az ostyákat egy tároló állványból és egy feldolgozó berendezésbe helyezi.
2. Pozícionálás és tájolás: Az ostyakezelő kar képes pontosan pozícionálni és orientálni az ostyát, hogy biztosítsa a megfelelő beállítást és pozíciót a későbbi feldolgozási vagy mérési műveletekhez.
3. Rögzítés és kioldás: Az ostyakezelő karok általában olyan megfogókkal vannak felszerelve, amelyek biztonságosan rögzíthetik az ostyákat, és szükség esetén elengedhetik őket, hogy biztosítsák az ostyák biztonságos szállítását és kezelését.
4. Automatizált vezérlés: Az ostyakezelő kar fejlett vezérlőrendszerrel van felszerelve, amely képes automatikusan végrehajtani az előre meghatározott műveletsorokat, javítani a gyártás hatékonyságát és csökkenteni az emberi hibákat.
Jellemzők és előnyei
1. Pontos méretek és hőstabilitás.
2. Nagy fajlagos merevség és kiváló termikus egyenletesség, hosszú távú használat nem könnyű hajlítani a deformációt.
3. Sima felülettel és jó kopásállósággal rendelkezik, így biztonságosan kezeli a chipet részecskék szennyeződése nélkül.
4. Szilícium-karbid ellenállás 106-108Ω, nem mágneses, összhangban az anti-ESD specifikáció követelményeivel; Megakadályozhatja a statikus elektromosság felhalmozódását a chip felületén.
5.Jó hővezető képesség, alacsony tágulási együttható.
