Ostyakezelő karegy kulcsfontosságú berendezés, amelyet a félvezető gyártási folyamatban használnak a kezeléshez, átvitelhez és elhelyezéshezostyák. Általában egy robotkarból, egy megfogóból és egy vezérlőrendszerből áll, precíz mozgási és pozicionálási lehetőségekkel.Ostyakezelő karokszéles körben használják a félvezetőgyártás különböző szakaszaiban, beleértve az olyan folyamatlépéseket, mint az ostya betöltés, tisztítás, vékonyréteg-lerakás, maratás, litográfia és ellenőrzés. Pontossága, megbízhatósága és automatizálási képességei elengedhetetlenek a gyártási folyamat minőségének, hatékonyságának és következetességének biztosításához.
Az ostyakezelő kar fő funkciói a következők:
1. Ostyaátvitel: Az ostyakezelő kar képes pontosan átvinni az ostyákat egyik helyről a másikra, például kiveszi az ostyákat egy tároló állványból és egy feldolgozó berendezésbe helyezi.
2. Pozícionálás és tájolás: Az ostyakezelő kar képes pontosan pozícionálni és orientálni az ostyát, hogy biztosítsa a megfelelő beállítást és pozíciót a későbbi feldolgozási vagy mérési műveletekhez.
3. Rögzítés és kioldás: Az ostyakezelő karok általában olyan megfogókkal vannak felszerelve, amelyek biztonságosan rögzíthetik az ostyákat, és szükség esetén elengedhetik azokat, hogy biztosítsák az ostyák biztonságos szállítását és kezelését.
4. Automatizált vezérlés: Az ostyakezelő kar fejlett vezérlőrendszerrel van felszerelve, amely képes automatikusan végrehajtani az előre meghatározott műveletsorokat, javítani a gyártás hatékonyságát és csökkenteni az emberi hibákat.
Jellemzők és előnyei
1. Pontos méretek és hőstabilitás.
2.High fajlagos merevség és kiváló termikus egyenletesség, hosszú távú használat nem könnyű hajlítani deformáció.
3. Sima felülettel és jó kopásállósággal rendelkezik, így biztonságosan kezeli a chipet részecskék szennyeződése nélkül.
4.Szilícium-karbid ellenállás 106-108Ω, nem mágneses, összhangban az anti-ESD specifikáció követelményeivel; Megakadályozhatja a statikus elektromosság felhalmozódását a chip felületén.
5.Jó hővezető képesség, alacsony tágulási együttható.
