Tantál-karbid (TaC) bevonatú szuszceptor

Rövid leírás:

A grafit kiváló magas hőmérsékletű anyag, de magas hőmérsékleten könnyen oxidálódik. Még inert gázzal működő vákuumkemencékben is lassú oxidáción mehet keresztül. A CVD tantál-karbid (TaC) bevonat hatékonyan védheti a grafit szubsztrátumot, és ugyanolyan magas hőmérsékleti ellenállást biztosít, mint a grafit. A TaC is inert anyag, ami azt jelenti, hogy nem lép reakcióba olyan gázokkal, mint az argon vagy a hidrogén magas hőmérsékleten.VizsgálatTantál-karbid (TaC) bevonatú szuszceptor jelenleg!

 


Termék részletek

Termékcímkék

A Semicera speciális tantál-karbid (TaC) bevonatokat kínál különféle alkatrészekhez és hordozókhoz.A Semicera vezető bevonási eljárása lehetővé teszi a tantál-karbid (TaC) bevonatok számára, hogy nagy tisztaságot, magas hőmérsékleti stabilitást és magas vegyi toleranciát érjenek el, javítva a SIC/GAN kristályok és az EPI rétegek termékminőségét (Grafit bevonatú TaC szuszceptor), és meghosszabbítja a reaktor kulcselemeinek élettartamát. A tantál-karbid TaC bevonat használata az élproblémák megoldására és a kristálynövekedés minőségének javítására szolgál, a Semicera pedig áttörést jelentett a tantál-karbid bevonat technológiájának (CVD) megoldásának, elérve a nemzetközi haladó szintet.

 

Több éves fejlesztés után a Semicera meghódította a technológiátCVD TaCa K+F részleg közös erőfeszítéseivel. A SiC lapkák növekedési folyamatában könnyen előfordulhatnak hibák, de használat utánTaC, a különbség jelentős. Az alábbiakban összehasonlítjuk az ostyákat TaC-vel és anélkül, valamint Simicera alkatrészeket az egykristály növesztéshez.

微信图片_20240227150045

TaC-vel és anélkül

微信图片_20240227150053

A TaC használata után (jobbra)

Ráadásul SemiceráéTaC bevonatú termékekhosszabb élettartammal és nagyobb magas hőmérséklettel szembeni ellenállással rendelkeznekSiC bevonatok.A laboratóriumi mérések kimutatták, hogy a miTaC bevonatokakár 2300 Celsius fokos hőmérsékleten is folyamatosan képes működni hosszú ideig. Íme néhány példa a mintáinkból:

 
0(1)
Semicera Munkahely
Semicera munkahely 2
Berendezés gép
Semicera Raktárház
CNN feldolgozás, vegyi tisztítás, CVD bevonat
A mi szolgáltatásunk

  • Előző:
  • Következő: