Tantál-karbid bevonatú szuszceptor tartólemezegy szuszceptor vagy tartószerkezet, amelyet vékony réteg boríttantál-karbid. Ez a bevonat kialakítható a szuszceptor felületén olyan technikákkal, mint a fizikai gőzleválasztás (PVD) vagy a kémiai gőzleválasztás (CVD), ami a szuszceptor kiváló tulajdonságait biztosítja.tantál-karbid.
A Semicera speciális tantál-karbid (TaC) bevonatokat kínál különféle alkatrészekhez és hordozókhoz.A Semicera vezető bevonási eljárása lehetővé teszi a tantál-karbid (TaC) bevonatok számára, hogy nagy tisztaságot, magas hőmérsékleti stabilitást és magas vegyi toleranciát érjenek el, javítva a SIC/GAN kristályok és az EPI rétegek termékminőségét (Grafit bevonatú TaC szuszceptor), és meghosszabbítja a reaktor kulcselemeinek élettartamát. A tantál-karbid TaC bevonat használata az élproblémák megoldására és a kristálynövekedés minőségének javítására szolgál, a Semicera pedig áttörést jelentett a tantál-karbid bevonat technológiájának (CVD) megoldásának, elérve a nemzetközi haladó szintet.
Több éves fejlesztés után a Semicera meghódította a technológiátCVD TaCa K+F részleg közös erőfeszítéseivel. A SiC lapkák növekedési folyamatában könnyen előfordulhatnak hibák, de használat utánTaC, a különbség jelentős. Az alábbiakban összehasonlítjuk az ostyákat TaC-vel és anélkül, valamint Simicera alkatrészeket az egykristály növesztéshez.
A tantál-karbid bevonatú alaptartó lemezek főbb jellemzői a következők:
1. Magas hőmérsékleti stabilitás: A tantál-karbid kiváló magas hőmérsékleti stabilitással rendelkezik, így a bevont alaplemez alkalmas a magas hőmérsékletű munkakörnyezetek támogatási igényeire.
2. Korrózióállóság: A tantál-karbid bevonat jó korrózióállósággal rendelkezik, ellenáll a kémiai korróziónak és oxidációnak, és meghosszabbítja az alap élettartamát.
3. Nagy keménység és kopásállóság: A tantál-karbid bevonat nagy keménysége jó kopásállóságot biztosít az alaptartó lemeznek, amely alkalmas a nagy kopásállóságot igénylő alkalmakra.
4. Kémiai stabilitás: A tantál-karbid nagy stabilitást mutat különféle vegyi anyagokkal szemben, így a bevont alaplemez jól teljesít bizonyos korrozív környezetben.
TaC-vel és anélkül
A TaC használata után (jobbra)
Ráadásul SemiceráéTaC bevonatú termékekhosszabb élettartammal és nagyobb magas hőmérséklettel szembeni ellenállással rendelkeznekSiC bevonatok.A laboratóriumi mérések kimutatták, hogy a miTaC bevonatokakár 2300 Celsius fokos hőmérsékleten is folyamatosan képes működni hosszú ideig. Íme néhány példa a mintáinkból:
