Tantál-karbid bevonatú grafitlemezegy grafit anyag, vékony réteggeltantál-karbidaz aljzat felületén. A vékony tantál-karbid réteget általában a grafit szubsztrát felületén alakítják ki olyan technikákkal, mint a fizikai gőzleválasztás (PVD) vagy a kémiai gőzleválasztás (CVD). Ez a bevonat olyan kiváló tulajdonságokkal rendelkezik, mint a nagy keménység, kiváló kopásállóság, korrózióállóság és magas hőmérsékleti stabilitás.
A Semicera speciális tantál-karbid (TaC) bevonatokat kínál különféle alkatrészekhez és hordozókhoz.A Semicera vezető bevonási eljárása lehetővé teszi a tantál-karbid (TaC) bevonatok számára, hogy nagy tisztaságot, magas hőmérsékleti stabilitást és magas vegyi toleranciát érjenek el, javítva a SIC/GAN kristályok és az EPI rétegek termékminőségét (Grafit bevonatú TaC szuszceptor), és meghosszabbítja a reaktor kulcselemeinek élettartamát. A tantál-karbid TaC bevonat használata az élproblémák megoldására és a kristálynövekedés minőségének javítására szolgál, a Semicera pedig áttörést jelentett a tantál-karbid bevonat technológiájának (CVD) megoldásának, elérve a nemzetközi haladó szintet.
Több éves fejlesztés után a Semicera meghódította a technológiátCVD TaCa K+F részleg közös erőfeszítéseivel. A SiC lapkák növekedési folyamatában könnyen előfordulhatnak hibák, de használat utánTaC, a különbség jelentős. Az alábbiakban összehasonlítjuk az ostyákat TaC-vel és anélkül, valamint Simicera alkatrészeket az egykristály növesztéshez.
A tantál-karbid bevonatú grafitlap fő előnyei a következők:
1. Magas hőmérséklettel szembeni ellenállás: A tantál-karbid magas olvadásponttal és kiváló magas hőmérsékleti stabilitással rendelkezik, így a bevont grafitlemez alkalmas magas hőmérsékletű környezetben való használatra.
2. Korrózióállóság: A tantál-karbid bevonat ellenáll számos kémiai korrozív anyag eróziójának, és meghosszabbítja az anyag élettartamát.
3. Nagy keménység: A tantál-karbid vékonyréteg nagy keménysége jó kopásállóságot biztosít, és nagy kopásállóságot igénylő alkalmazásokhoz alkalmas.
4. Kémiai stabilitás: A tantál-karbid bevonat kiválóan ellenáll a kémiai korróziónak, és alkalmas bizonyos korrozív közegekben való használatra.
TaC-vel és anélkül
A TaC használata után (jobbra)
Ráadásul SemiceráéTaC bevonatú termékekhosszabb élettartammal és nagyobb magas hőmérséklettel szembeni ellenállással rendelkeznekSiC bevonatok.A laboratóriumi mérések kimutatták, hogy a miTaC bevonatokakár 2300 Celsius fokos hőmérsékleten is folyamatosan képes működni hosszú ideig. Íme néhány példa a mintáinkból:
