SemiceraTaC bevonatoló tokmány, a legmodernebb vákuumtokmány, amely a következővel van felszerelveTaC bevonatok, kifejezetten félvezető kemencékhez készült. Úgy tervezték, hogy megfeleljen a modern félvezető-gyártási folyamatok szigorú követelményeinek, ez az innovatív technológia új mércét állít fel a pontosság, a megbízhatóság és a hosszú élettartam tekintetében.
A félvezetőgyártás középpontjában a feldolgozás során a pontos vezérlés és stabilitás kritikus igénye áll. A TaC bevonatoló tokmány ezt az igényt a fejlett integrálásával elégíti kiTaC (tantál-karbid) bevonatoka felületére, biztosítva a kivételes termikus stabilitást, tartósságot és a kémiai korrózióval szembeni ellenállást. Ez az egyedülálló anyagkombináció nemcsak a tokmány teljesítményét növeli, hanem élettartamát is meghosszabbítja, így számtalan cikluson keresztül egyenletes eredményeket biztosít.
A TaC bevonatoló tokmány egyik legfontosabb előnye, hogy képes fenntartani a vákuum integritásának magas szintjét a teljes feldolgozási ciklus során. A gázkibocsátás és a szennyeződés hatékony minimalizálásával ez a technológia biztosítja a félvezető anyagok tisztaságát és minőségét, ami kiváló eszközteljesítményt és megbízhatóságot eredményez.
Ezenkívül a TaC bevonatoló tokmány páratlan sokoldalúságot kínál, különféle méretű és geometriájú félvezető hordozók széles skálájához. A TaC bevonatoló tokmány testreszabható kialakítása lehetővé teszi a zökkenőmentes integrációt a meglévő félvezető kemencerendszerekbe, minimalizálva az állásidőt és maximalizálva a termelékenységet.
A TaC bevonatoló tokmány segítségével a félvezetőgyártók nagyobb teljesítményt, jobb hozamot és alacsonyabb összköltséget érhetnek el. Akár kutatólaboratóriumokban, akár nagy volumenű gyártási létesítményekben, ez a fejlett technológia képessé teszi a félvezető szakembereket arra, hogy a szigorú minőségi szabványok betartása mellett feszegessék az innováció határait.
TaC-vel és anélkül
A TaC használata után (jobbra)
Ráadásul SemiceráéTaC bevonatú termékekhosszabb élettartammal és nagyobb magas hőmérséklettel szembeni ellenállással rendelkeznekSiC bevonatok.A laboratóriumi mérések kimutatták, hogy a miTaC bevonatokakár 2300 Celsius fokos hőmérsékleten is folyamatosan képes működni hosszú ideig. Íme néhány példa a mintáinkból: