A Semicera speciális tantál-karbid (TaC) bevonatokat kínál különféle alkatrészekhez és hordozókhoz.A Semicera vezető bevonási eljárása lehetővé teszi a tantál-karbid (TaC) bevonatok számára, hogy nagy tisztaságot, magas hőmérsékleti stabilitást és magas vegyi toleranciát érjenek el, javítva a SIC/GAN kristályok és az EPI rétegek termékminőségét (Grafit bevonatú TaC szuszceptor), és meghosszabbítja a reaktor kulcselemeinek élettartamát. A tantál-karbid TaC bevonat használata az élproblémák megoldására és a kristálynövekedés minőségének javítására szolgál, a Semicera pedig áttörést jelentett a tantál-karbid bevonat technológiájának (CVD) megoldásának, elérve a nemzetközi haladó szintet.
A tantál-karbid bevonatú lapkahordozókat széles körben használják az ostyafeldolgozási és -kezelési folyamatokban a félvezetőgyártási folyamatokban. Stabil támogatást és védelmet nyújtanak, hogy biztosítsák az ostyák biztonságát, pontosságát és konzisztenciáját a gyártási folyamat során. A tantál-karbid bevonatok meghosszabbíthatják a hordozó élettartamát, csökkenthetik a költségeket, valamint javíthatják a félvezető termékek minőségét és megbízhatóságát.
A tantál-karbiddal bevont ostyahordozó leírása a következő:
1. Anyagválasztás: A tantál-karbid kiváló teljesítménnyel, nagy keménységgel, magas olvadásponttal, korrózióállósággal és kiváló mechanikai tulajdonságokkal rendelkező anyag, ezért széles körben használják a félvezető gyártási folyamatban.
2. Felületi bevonat: Tantál-karbid bevonatot visznek fel az ostyahordozó felületére egy speciális bevonási eljárással, hogy egységes és sűrű tantál-karbid bevonatot képezzenek. Ez a bevonat további védelmet és kopásállóságot biztosíthat, miközben jó hővezető képességgel rendelkezik.
3. Laposság és pontosság: A tantál-karbid bevonatú ostyahordozó nagyfokú síksággal és pontossággal rendelkezik, biztosítva az ostyák stabilitását és pontosságát a gyártási folyamat során. Az ostya minőségének és teljesítményének biztosításához kritikus a hordozófelület síksága és kidolgozása.
4. Hőmérséklet-stabilitás: A tantál-karbiddal bevont ostyahordozók magas hőmérsékletű környezetben is megtarthatják a stabilitást deformáció vagy meglazulás nélkül, biztosítva az ostyák stabilitását és konzisztenciáját a magas hőmérsékletű folyamatokban.
5. Korrózióállóság: A tantál-karbid bevonatok kiváló korrózióállósággal rendelkeznek, ellenállnak a vegyszerek és oldószerek eróziójának, és megvédik a hordozót a folyadék- és gázkorróziótól.
TaC-vel és anélkül
A TaC használata után (jobbra)
Ráadásul SemiceráéTaC bevonatú termékekhosszabb élettartammal és nagyobb magas hőmérséklettel szembeni ellenállással rendelkeznekSiC bevonatok.A laboratóriumi mérések kimutatták, hogy a miTaC bevonatokakár 2300 Celsius fokos hőmérsékleten is folyamatosan képes működni hosszú ideig. Íme néhány példa a mintáinkból:
