A TaC Coated Plate egy speciális korong, amelyet SiC epitaxiális folyamatokhoz terveztek, és precízen, kiváló minőségű grafitanyagból készültek. Felületét aprólékosan bevonták tantál-karbiddal (TaC), amely vegyület kivételes tisztaságáról és szilárdságáról ismert. A TaC bevonat növeli a lemez tartósságát és a magas hőmérsékletekkel szembeni ellenálló képességét, így ideális a SiC epitaxiális folyamatok nehéz körülményeihez.
Ez az innovatív TaC bevonatú lemez egy speciális lemez, amelyet SiC epitaxiális folyamatokhoz terveztek, és precízen, kiváló minőségű grafitanyagból készült. A TaC bevonatú lemez felületét aprólékosan bevonják tantál-karbiddal (TaC), amely vegyület kivételes tisztaságáról és szilárdságáról ismert. megbízható platformként szolgál az ostyák szállításához a SiC epitaxiális növekedés különböző szakaszaiban. Nagy tisztaságú grafit alapja stabil és inert felületet biztosít, míg a TaC bevonat extra védelmet ad a kémiai reakciók és a kopás ellen.
SemickorszakA TaC Coated Plate az ügyfelek egyedi igényei szerint van testreszabva, biztosítva az optimális teljesítményt és kompatibilitást SiC epitaxiális rendszereikkel. Legyen szó méretről, alakról vagy egyéb jellemzőkről, ezeket a lemezeket úgy alakítottuk ki, hogy megfeleljenek minden alkalmazás egyedi igényeinek.
TaC-vel és anélkül
A TaC használata után (jobbra)
Ráadásul SemiceráéTaC bevonatú termékekhosszabb élettartammal és nagyobb magas hőmérséklettel szembeni ellenállással rendelkeznekSiC bevonatok.A laboratóriumi mérések kimutatták, hogy a miTaC bevonatokakár 2300 Celsius fokos hőmérsékleten is folyamatosan képes működni hosszú ideig. Íme néhány példa a mintáinkból:
