A Semicera speciális tantál-karbid (TaC) bevonatokat kínál különféle alkatrészekhez és hordozókhoz.A Semicera vezető bevonási eljárása lehetővé teszi a tantál-karbid (TaC) bevonatok számára, hogy nagy tisztaságot, magas hőmérsékleti stabilitást és magas vegyi toleranciát érjenek el, javítva a SIC/GAN kristályok és az EPI rétegek termékminőségét (Grafit bevonatú TaC szuszceptor), és meghosszabbítja a reaktor kulcselemeinek élettartamát. A tantál-karbid TaC bevonat használata az élproblémák megoldására és a kristálynövekedés minőségének javítására szolgál, a Semicera pedig áttörést jelentett a tantál-karbid bevonat technológiájának (CVD) megoldásának, elérve a nemzetközi haladó szintet.
A 8 hüvelykes szilícium-karbid (SiC) lapkák megjelenésével a különböző félvezető eljárásokra vonatkozó követelmények egyre szigorúbbak lettek, különösen az epitaxiás eljárások esetében, ahol a hőmérséklet meghaladhatja a 2000 Celsius-fokot. A hagyományos szuszceptor anyagok, például a szilícium-karbiddal bevont grafit hajlamosak szublimálódni ezeken a magas hőmérsékleteken, megzavarva az epitaxiás folyamatot. A CVD tantál-karbid (TaC) azonban hatékonyan kezeli ezt a problémát, ellenáll akár 2300 Celsius fokos hőmérsékletnek, és hosszabb élettartamot kínál. Lépjen kapcsolatba Semicerávals Tantál-karbid TaC CVD bevonatú ostya szuszceptorhogy többet tudjon meg fejlett megoldásainkról.
Több éves fejlesztés után a Semicera meghódította a technológiátCVD TaCa K+F részleg közös erőfeszítéseivel. A SiC lapkák növekedési folyamatában könnyen előfordulhatnak hibák, de használat utánTaC, a különbség jelentős. Az alábbiakban összehasonlítjuk az ostyákat TaC-vel és anélkül, valamint Simicera alkatrészeket az egykristály növesztéshez.
TaC-vel és anélkül
A TaC használata után (jobbra)
Ráadásul SemiceráéTaC bevonatú termékekhosszabb élettartammal és nagyobb magas hőmérséklettel szembeni ellenállással rendelkeznekSiC bevonatok.A laboratóriumi mérések kimutatták, hogy a miTaC bevonatokakár 2300 Celsius fokos hőmérsékleten is folyamatosan képes működni hosszú ideig. Íme néhány példa a mintáinkból:
