TaC bevonatfontos anyagbevonat, amelyet általában grafit alapra állítanak elő fém szerves kémiai gőzleválasztásos (MOCVD) technológiával. Ez a bevonat kiváló tulajdonságokkal rendelkezik, mint például a nagy keménység, kiváló kopásállóság, magas hőmérséklet-állóság és kémiai stabilitás, és alkalmas különféle nagy igényű mérnöki alkalmazásokra.
A MOCVD technológia egy általánosan használt vékonyréteg-növekedési technológia, amely a kívánt vegyületfilmet a szubsztrátum felületére úgy rakja le, hogy fém szerves prekurzorokat reagál reaktív gázokkal magas hőmérsékleten. Az előkészítés soránTaC bevonat, a megfelelő fém szerves prekurzorok és szénforrások kiválasztásával, a reakciókörülmények és a leválasztási paraméterek szabályozásával egyenletes és sűrű TaC film rakható le grafit alapra.
A Semicera speciális tantál-karbid (TaC) bevonatokat kínál különféle alkatrészekhez és hordozókhoz.A Semicera vezető bevonási eljárása lehetővé teszi a tantál-karbid (TaC) bevonatok számára, hogy nagy tisztaságot, magas hőmérsékleti stabilitást és magas vegyi toleranciát érjenek el, javítva a SIC/GAN kristályok és az EPI rétegek termékminőségét (Grafit bevonatú TaC szuszceptor), és meghosszabbítja a reaktor kulcselemeinek élettartamát. A tantál-karbid TaC bevonat használata az élproblémák megoldására és a kristálynövekedés minőségének javítására szolgál, a Semicera pedig áttörést jelentett a tantál-karbid bevonat technológiájának (CVD) megoldásának, elérve a nemzetközi haladó szintet.
Több éves fejlesztés után a Semicera meghódította a technológiátCVD TaCa K+F részleg közös erőfeszítéseivel. A SiC lapkák növekedési folyamatában könnyen előfordulhatnak hibák, de használat utánTaC, a különbség jelentős. Az alábbiakban összehasonlítjuk az ostyákat TaC-vel és anélkül, valamint Simicera alkatrészeket az egykristály növesztéshez.
TaC-vel és anélkül
A TaC használata után (jobbra)
Ráadásul SemiceráéTaC bevonatú termékekhosszabb élettartammal és nagyobb magas hőmérséklettel szembeni ellenállással rendelkeznekSiC bevonatok.A laboratóriumi mérések kimutatták, hogy a miTaC bevonatokakár 2300 Celsius fokos hőmérsékleten is folyamatosan képes működni hosszú ideig. Íme néhány példa a mintáinkból:
