Bevezetés a CVD TaC bevonatba:
A CVD TaC Coating egy olyan technológia, amely kémiai gőzleválasztást alkalmaz tantál-karbid (TaC) bevonat felvitelére a hordozó felületére. A tantál-karbid kiváló mechanikai és kémiai tulajdonságokkal rendelkező, nagy teljesítményű kerámiaanyag. A CVD eljárás gázreakció révén egyenletes TaC filmet hoz létre a hordozó felületén.
Főbb jellemzők:
Kiváló keménység és kopásállóság: A tantál-karbid rendkívül nagy keménységű, a CVD TaC bevonat pedig jelentősen javíthatja az aljzat kopásállóságát. Ez ideálissá teszi a bevonatot nagy kopásnak örvendő környezetben való alkalmazásokhoz, például vágószerszámokhoz és formákhoz.
Magas hőmérsékleti stabilitás: A TaC bevonatok védik a kritikus kemence- és reaktorelemeket 2200°C-ig, jó stabilitást mutatva. Kémiai és mechanikai stabilitását extrém hőmérsékleti körülmények között is megőrzi, így alkalmas magas hőmérsékletű feldolgozásra és magas hőmérsékletű környezetben történő alkalmazásokra.
Kiváló kémiai stabilitás: A tantál-karbid erős korrózióállósággal rendelkezik a legtöbb savval és lúggal szemben, és a CVD TaC bevonat hatékonyan megakadályozza az aljzat károsodását korrozív környezetben.
Magas olvadáspont: A tantál-karbid magas olvadásponttal rendelkezik (körülbelül 3880 °C), ami lehetővé teszi a CVD TaC bevonat használatát extrém magas hőmérsékleti körülmények között anélkül, hogy megolvadna vagy lebomolna.
Kiváló hővezető képesség: A TaC bevonat magas hővezető képességgel rendelkezik, amely segít hatékonyan elvezetni a hőt a magas hőmérsékletű folyamatokban és megakadályozza a helyi túlmelegedést.
Lehetséges alkalmazások:
• Gallium-nitrid (GaN) és szilícium-karbid epitaxiális CVD reaktor alkatrészei, beleértve az ostyahordozókat, parabolaantennákat, zuhanyfejeket, mennyezeteket és szuszceptorokat
• Szilícium-karbid, gallium-nitrid és alumínium-nitrid (AlN) kristálynövekedési komponensek, beleértve a tégelyeket, magtartókat, vezetőgyűrűket és szűrőket
• Ipari alkatrészek, beleértve az ellenállásos fűtőelemeket, befecskendező fúvókákat, fedőgyűrűket és forrasztórácsokat
Alkalmazás jellemzői:
• Hőmérséklet stabil 2000°C felett, ami lehetővé teszi a szélsőséges hőmérsékleten való működést
• Ellenáll a hidrogénnek (Hz), az ammóniának (NH3), a monoszilánnak (SiH4) és a szilíciumnak (Si), védelmet nyújt kemény kémiai környezetben
• Hősokkállósága gyorsabb működési ciklust tesz lehetővé
• A grafit erős adhéziós, hosszú élettartamot biztosít, és a bevonat nem levál.
• Rendkívül nagy tisztaság a szükségtelen szennyeződések és szennyeződések eltávolítására
• Konform bevonat a szűk mérettűrésekig
Műszaki előírások:
Sűrű tantál-karbid bevonatok készítése CVD-vel:
TAC bevonat magas kristályossággal és kiváló egyenletességgel:
CVD TAC COATING Technical Parameters_Semicera:
A fentiek tipikus értékek.
