TaC bevonatú grafit vezetőgyűrűkvékony réteg lerakódására utaltantál-karbidgrafit vezetőgyűrű felületére, hogy javítsa kopásállóságát, magas hőmérséklet-állóságát és kémiai stabilitását. Ezt a bevonatot általában egy grafit vezetőgyűrű felületén alakítják ki olyan technikákkal, mint a fizikai gőzleválasztás (PVD) vagy a kémiai gőzleválasztás (CVD).
A Semicera speciális tantál-karbid (TaC) bevonatokat kínál különféle alkatrészekhez és hordozókhoz.A Semicera vezető bevonási eljárása lehetővé teszi a tantál-karbid (TaC) bevonatok számára, hogy nagy tisztaságot, magas hőmérsékleti stabilitást és magas vegyi toleranciát érjenek el, javítva a SIC/GAN kristályok és az EPI rétegek termékminőségét (Grafit bevonatú TaC szuszceptor), és meghosszabbítja a reaktor kulcselemeinek élettartamát. A tantál-karbid TaC bevonat használata az élproblémák megoldására és a kristálynövekedés minőségének javítására szolgál, a Semicera pedig áttörést jelentett a tantál-karbid bevonat technológiájának (CVD) megoldásának, elérve a nemzetközi haladó szintet.
Több éves fejlesztés után a Semicera meghódította a technológiátCVD TaCa K+F részleg közös erőfeszítéseivel. A SiC lapkák növekedési folyamatában könnyen előfordulhatnak hibák, de használat utánTaC, a különbség jelentős. Az alábbiakban összehasonlítjuk az ostyákat TaC-vel és anélkül, valamint Simicera alkatrészeket az egykristály növesztéshez.
A TaC bevonatú grafit vezetőgyűrűk főbb jellemzői a következők:
1. Magas hőmérséklettel szembeni ellenállás: A TaC bevonat kiváló magas hőmérsékleti stabilitással rendelkezik, és magas hőmérsékletű környezetben is meg tudja őrizni a stabilitást.
2. Kopásállóság: A tantál-karbid vékonyréteg nagy keménysége jó kopásállóságot biztosít a vezetőgyűrűnek és meghosszabbítja annak élettartamát.
3. Kémiai stabilitás: A TaC bevonat nagy stabilitású a kémiai korrózióval szemben, így alkalmas bizonyos korrozív közegekben történő alkalmazásra.
4. Csökkentse a súrlódást: A TaC bevonat hatékonyan csökkentheti a grafit vezetőgyűrű és más alkatrészek közötti súrlódást, és javíthatja a mechanikus tömítések hatékonyságát.
TaC-vel és anélkül
A TaC használata után (jobbra)
Ráadásul SemiceráéTaC bevonatú termékekhosszabb élettartammal és nagyobb magas hőmérséklettel szembeni ellenállással rendelkeznekSiC bevonatok.A laboratóriumi mérések kimutatták, hogy a miTaC bevonatokakár 2300 Celsius fokos hőmérsékleten is folyamatosan képes működni hosszú ideig. Íme néhány példa a mintáinkból:
