TaC bevonatú epitaxiális ostyahordozókÁltalában nagy teljesítményű optoelektronikai eszközök, erősáramú eszközök, érzékelők és más területeken használják. Ezepitaxiális ostyahordozólerakódására utalTaCvékony filmréteg a hordozón a kristálynövekedési folyamat során, hogy specifikus szerkezetű és teljesítményű ostyát képezzen az eszköz későbbi előkészítéséhez.
Az előkészítéshez általában kémiai gőzleválasztásos (CVD) technológiát alkalmaznakTaC bevonatú epitaxiális ostyahordozók. Fém szerves prekurzorok és szénforrás gázok magas hőmérsékleten történő reagáltatásával TaC film rakható le a kristályhordozó felületére. Ez a fólia kiváló elektromos, optikai és mechanikai tulajdonságokkal rendelkezik, és alkalmas különféle nagy teljesítményű eszközök készítésére.
A Semicera speciális tantál-karbid (TaC) bevonatokat kínál különféle alkatrészekhez és hordozókhoz.A Semicera vezető bevonási eljárása lehetővé teszi a tantál-karbid (TaC) bevonatok számára, hogy nagy tisztaságot, magas hőmérsékleti stabilitást és magas vegyi toleranciát érjenek el, javítva a SIC/GAN kristályok és az EPI rétegek termékminőségét (Grafit bevonatú TaC szuszceptor), és meghosszabbítja a reaktor kulcselemeinek élettartamát. A tantál-karbid TaC bevonat használata az élproblémák megoldására és a kristálynövekedés minőségének javítására szolgál, a Semicera pedig áttörést jelentett a tantál-karbid bevonat technológiájának (CVD) megoldásának, elérve a nemzetközi haladó szintet.
Több éves fejlesztés után a Semicera meghódította a technológiátCVD TaCa K+F részleg közös erőfeszítéseivel. A SiC lapkák növekedési folyamatában könnyen előfordulhatnak hibák, de használat utánTaC, a különbség jelentős. Az alábbiakban összehasonlítjuk az ostyákat TaC-vel és anélkül, valamint Simicera alkatrészeket az egykristály növesztéshez.
TaC-vel és anélkül
A TaC használata után (jobbra)
Ráadásul SemiceráéTaC bevonatú termékekhosszabb élettartammal és nagyobb magas hőmérséklettel szembeni ellenállással rendelkeznekSiC bevonatok.A laboratóriumi mérések kimutatták, hogy a miTaC bevonatokakár 2300 Celsius fokos hőmérsékleten is folyamatosan képes működni hosszú ideig. Íme néhány példa a mintáinkból:
