Termék áttekintése
ASzilíciummal impregnált szilícium-karbid (SiC) lapát és ostyahordozóÚgy tervezték, hogy megfeleljen a félvezető hőfeldolgozási alkalmazások szigorú követelményeinek. A nagy tisztaságú SiC-ből készült és szilícium-impregnálással javított termék a magas hőmérsékleten történő teljesítmény, a kiváló hővezetőképesség, a korrózióállóság és a kiemelkedő mechanikai szilárdság egyedülálló kombinációját kínálja.
A fejlett anyagtudomány és a precíziós gyártás integrálásával ez a megoldás kiváló teljesítményt, megbízhatóságot és tartósságot biztosít a félvezetőgyártók számára.
Főbb jellemzők
1.Kivételes magas hőmérsékleti ellenállás
A 2700°C-ot meghaladó olvadáspontjukkal a SiC anyagok természetüknél fogva stabilak szélsőséges hőségben is. A szilícium impregnálás tovább növeli a hőstabilitásukat, lehetővé téve, hogy ellenálljanak a tartós magas hőmérsékletnek anélkül, hogy szerkezeti gyengülést vagy teljesítményromlást okoznának.
2.Kiváló hővezető képesség
A szilíciummal impregnált SiC kivételes hővezető képessége egyenletes hőeloszlást biztosít, csökkentve a hőfeszültséget a kritikus feldolgozási szakaszokban. Ez a tulajdonság meghosszabbítja a berendezés élettartamát és minimalizálja a gyártási állásidőt, így ideális a magas hőmérsékletű termikus feldolgozáshoz.
3.Oxidáció és korrózióállóság
A felületen természetesen masszív szilícium-oxid réteg képződik, amely kiemelkedően ellenáll az oxidációnak és a korróziónak. Ez biztosítja a hosszú távú megbízhatóságot zord üzemi környezetben, védve mind az anyagot, mind a környező alkatrészeket.
4.Nagy mechanikai szilárdság és kopásállóság
A szilíciummal impregnált SiC kiváló nyomószilárdsággal és kopásállósággal rendelkezik, megőrzi szerkezeti integritását nagy terhelésű és magas hőmérsékleti körülmények között. Ez csökkenti a kopással összefüggő sérülések kockázatát, és egyenletes teljesítményt biztosít a hosszabb használati ciklusok során.
Műszaki adatok
| Termék neve | SC-RSiC-Si |
| Anyag | Szilícium-impregnáló szilícium-karbid kompakt (nagy tisztaságú) |
| Alkalmazások | Félvezető hőkezelő alkatrészek, félvezető gyártási berendezések alkatrészei |
| Szállítási űrlap | Öntött test (szinterezett test) |
| Összetétel | Mechanikai tulajdonság | Young's Modulus (GPa) | Hajlítóerő (MPa) | ||
| Összetétel (térfogat%) | α-SiC | α-SiC | RT | 370 | 250 |
| 82 | 18 | 800°C | 360 | 220 | |
| Térfogatsűrűség (kg/m³) | 3,02 x 103 | 1200°C | 340 | 220 | |
| Hőálló Hőmérséklet°C | 1350 | Poisson-arány | 0,18 (RT) | ||
| Termikus tulajdonság | Hővezetőképesség (W/(m· K)) | Fajlagos hőkapacitás (kJ/(kg·K)) | Hőtágulási együttható (1/K) | ||
| RT | 220 | 0.7 | RT ~ 700°C | 3,4 x 10-6 | |
| 700 °C | 60 | 1.23 | 700-1200°C | 4,3x10-6 | |
| Szennyeződéstartalom ((ppm) | |||||||||||||
| Elem | Fe | Ni | Na | K | Mg | Ca | Cr | Mn | Zn | Cu | Ti | Va | Ai |
| Tartalom aránya | 3 | <2 | <0,5 | <0.1 | <1 | 5 | 0.3 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.3 | <0.3 | 25 |
Alkalmazások
▪Félvezető hőfeldolgozás:Ideális olyan eljárásokhoz, mint a kémiai gőzleválasztás (CVD), epitaxiális növesztés és lágyítás, ahol a pontos hőmérsékletszabályozás és az anyag tartóssága kritikus fontosságú.
▪Ostyahordozók és lapátok:Úgy tervezték, hogy biztonságosan tartsa és szállítsa az ostyákat magas hőmérsékletű hőkezelések során.
▪Extrém működési környezetek: Alkalmas olyan beállításokhoz, amelyek hőállóságot, vegyi expozíciót és mechanikai igénybevételt igényelnek.
A szilíciummal impregnált SiC előnyei
A nagy tisztaságú szilícium-karbid és a fejlett szilícium impregnálási technológia kombinációja páratlan teljesítményelőnyöket biztosít:
▪Pontosság:Növeli a félvezető feldolgozás pontosságát és vezérlését.
▪Stabilitás:A funkcionalitás veszélyeztetése nélkül ellenáll a zord környezeteknek.
▪Hosszú élet:Meghosszabbítja a félvezető gyártó berendezések élettartamát.
▪Hatékonyság:Növeli a termelékenységet azáltal, hogy megbízható és konzisztens eredményeket biztosít.
Miért válassza szilíciummal impregnált SiC megoldásainkat?
At Semicera, a félvezetőgyártók igényeire szabott, nagy teljesítményű megoldások biztosítására specializálódtunk. Szilíciummal impregnált szilícium-karbid lapátunk és ostyahordozónk szigorú tesztelésen és minőségbiztosításon esik át, hogy megfeleljen az ipari szabványoknak. A Semicera választásával hozzáférhet a legmodernebb anyagokhoz, amelyek célja a gyártási folyamatok optimalizálása és a gyártási képességek javítása.
Műszaki előírások
▪Anyag összetétel:Nagy tisztaságú szilícium-karbid szilícium impregnálással.
▪Működési hőmérséklet tartomány:2700°C-ig.
▪ Hővezetőképesség:Kivételesen magas az egyenletes hőelosztás érdekében.
▪Ellenállási tulajdonságok:Oxidáció, korrózió és kopásálló.
▪Alkalmazások:Kompatibilis a különböző félvezető hőfeldolgozó rendszerekkel.
Lépjen kapcsolatba velünk
Készen áll a félvezetőgyártási folyamat javítására? ÉrintkezésSemiceramég ma, hogy többet tudjon meg szilíciummal impregnált szilícium-karbid lapátunkról és ostyahordozónkról.
▪Email: sales01@semi-cera.com/sales05@semi-cera.com
▪Telefon: +86-0574-8650 3783
▪Elhelyezkedés:No.1958 Jiangnan Road, Ningbo High tech, Zone, Zhejiang Province, 315201, Kína
