Bemutatjuk a legmodernebb szilícium-karbid vízszintes csónaklapunkat, amelyet aprólékosan a félvezetőipar szeletfeldolgozási alkalmazásaihoz terveztek. A legfinomabb szilícium-karbidból készült vízszintes csónaklapunk kiváló termikus tulajdonságaival, vegyszerállóságával és mechanikai szilárdságával tűnik ki. Ideális a magas hőmérsékletű folyamatokhoz, ezt a csónaklemezt úgy tervezték, hogy kivételes teljesítményt nyújtson, biztosítva a pontosságot és a hatékonyságot minden használat során.
Kivételes tartósság:Nagy tisztaságú szilícium-karbidból készült, a mi csónak tányérÚgy tervezték, hogy ellenálljon a szélsőséges hőmérsékleteknek akár1600°C, páratlan tartósságot és élettartamot kínálva.
Egyenletes hőeloszlás:A szilícium-karbid hővezető képessége egyenletes hőeloszlást biztosít a lemezen, ami kritikus a folyamat konzisztenciájának megőrzéséhez és a jó minőségű lapkagyártás eléréséhez.
Vegyi ellenállás:A korrozív vegyszereknek és a zord környezetnek ellenálló hajólemezünk megőrzi integritását és teljesítményét még a legigényesebb félvezető-feldolgozási alkalmazásokban is.
Nagy mechanikai szilárdság:A robusztus felépítésünkcsónak tányérgarantálja a kiváló mechanikai szilárdságot és kopásállóságot, csökkentve a sérülések kockázatát és a gyakori csere szükségességét.
Alkalmazások:
A miénkSzilícium-karbid vízszintes csónaklaptökéletes a félvezetőgyártás magas hőmérsékletű folyamatainak széles skálájához, beleértve, de nem kizárólagosan a diffúziós, oxidációs, ionimplantációs és CVD folyamatokat.Kialakítása és anyagai biztosítják, hogy megfeleljen az ostyafeldolgozás pontos követelményeinek, így a félvezető gyártósorok nélkülözhetetlen eleme.