Szilícium-karbid bevonatú grafit ostyahordozók

1. Kiváló hőstabilitás és vezetőképességSiC-bevonatú ostyahordozóink kiválóak a stabil és állandó hőmérséklet fenntartásában, ami kulcsfontosságú a CVD-folyamatokhoz. Ez biztosítja az egyenletes hőeloszlást, ami kiváló vékonyréteg- és bevonatminőséget eredményez.

2. Precíziós gyártásMinden ostyatartó a szigorú szabványok szerint készül, egyenletes vastagságot és felületi simaságot biztosítva. Ez a pontosság létfontosságú az egyenletes lerakódási sebesség és a fóliatulajdonságok eléréséhez több ostya esetében, javítva ezzel az általános gyártási minőséget.

3. SzennyeződészáróA SiC bevonat áthatolhatatlan gátként működik, megakadályozva a szennyeződések diffúzióját a szuszceptorból az ostyába. Ez minimálisra csökkenti a szennyeződés kockázatát, ami kritikus fontosságú a nagy tisztaságú félvezető eszközök előállításához.

4. Tartósság és költséghatékonyságA robusztus felépítés és a SiC bevonat növelik az ostyahordozók tartósságát, csökkentve a szuszceptorcserék gyakoriságát. Ez alacsonyabb karbantartási költségeket és minimális állásidőt eredményez, növelve a félvezetőgyártási műveletek hatékonyságát.

5. Testreszabási lehetőségekA SiC bevonattal ellátott Semicorex ostyahordozók testreszabhatók, hogy megfeleljenek a speciális folyamatkövetelményeknek, beleértve a méret-, forma- és bevonatvastagság-változásokat. Ez a rugalmasság lehetővé teszi a szuszceptor optimalizálását, hogy megfeleljen a különböző félvezető-gyártási folyamatok egyedi igényeinek. A testreszabási lehetőségek lehetővé teszik speciális alkalmazásokhoz, például nagy volumenű gyártáshoz vagy kutatás-fejlesztéshez szabott szuszceptor-konstrukciók kifejlesztését, optimális teljesítményt biztosítva az adott felhasználási esetekben.