SemiceraSzilícium-karbid kerámia bevonategy rendkívül kemény és kopásálló szilícium-karbid (SiC) anyagból készült nagy teljesítményű védőbevonat. A bevonatot általában CVD vagy PVD eljárással viszik fel az aljzat felületéreszilícium-karbid részecskék, kiváló kémiai korrózióállóságot és magas hőmérsékleti stabilitást biztosít. Ezért a szilícium-karbid kerámia bevonatot széles körben használják a félvezető gyártó berendezések kulcsfontosságú alkatrészeiben.
A félvezetőgyártásban,SiC bevonatrendkívül magas, akár 1600°C-os hőmérsékletet is képes ellenállni, ezért a szilícium-karbid kerámia bevonatot gyakran használják berendezések vagy szerszámok védőrétegeként, hogy megakadályozzák a magas hőmérsékleten vagy korrozív környezetben történő károsodást.
Egy időben,szilícium-karbid kerámia bevonatellenáll a savak, lúgok, oxidok és más kémiai reagensek eróziójának, és magas korrózióállósággal rendelkezik számos vegyi anyaggal szemben. Ezért ez a termék alkalmas különféle korrozív környezetekre a félvezetőiparban.
Ezenkívül más kerámia anyagokkal összehasonlítva a SiC nagyobb hővezető képességgel rendelkezik, és hatékonyan képes hőt vezetni. Ez a tulajdonság határozza meg, hogy a precíz hőmérséklet-szabályozást igénylő félvezető eljárásoknál a magas hővezető képességetSzilícium-karbid kerámia bevonatsegíti a hő egyenletes eloszlását, megakadályozza a helyi túlmelegedést, és biztosítja a készülék optimális hőmérsékletű működését.
| A CVD sic bevonat alapvető fizikai tulajdonságai | |
| Ingatlan | Tipikus érték |
| Kristályszerkezet | FCC β fázisú polikristályos, főleg (111) orientált |
| Sűrűség | 3,21 g/cm³ |
| Keménység | 2500 Vickers keménység (500g terhelés) |
| szemcseméret | 2~10μm |
| Kémiai tisztaság | 99,99995% |
| Hőkapacitás | 640 J·kg-1·K-1 |
| Szublimációs hőmérséklet | 2700 ℃ |
| Hajlító szilárdság | 415 MPa RT 4 pontos |
| Young's Modulus | 430 Gpa 4pt kanyar, 1300 ℃ |
| Hővezetőképesség | 300W·m-1·K-1 |
| Hőtágulás (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
