A Semicera Solid SiC Focus Ring egy élvonalbeli komponens, amelyet úgy terveztek, hogy megfeleljen a fejlett félvezetőgyártás követelményeinek. Nagy tisztaságú anyagból készültSzilícium-karbid (SiC), ez a fókuszgyűrű ideális a félvezetőipar számos alkalmazásához, különösen aCVD SiC folyamatok, plazma maratás, ésICPRIE (induktív csatolású plazma reaktív ionmarattás). Kivételes kopásállóságáról, nagy termikus stabilitásáról és tisztaságáról ismert, hosszan tartó teljesítményt biztosít nagy igénybevételnek kitett környezetben.
FélvezetőbenostyaA feldolgozás során a Solid SiC Focus Gyűrűk kulcsfontosságúak a precíz marás fenntartásában szárazmaratási és ostyamaratási alkalmazások során. A SiC fókuszgyűrű segít a plazma fókuszálásában olyan folyamatok során, mint például a plazmamaratási gépek műveletei, így nélkülözhetetlen a szilícium lapkák maratásához. A szilárd SiC anyag páratlan erózióállóságot biztosít, biztosítva a berendezés hosszú élettartamát, és minimalizálja az állásidőt, ami elengedhetetlen a félvezetőgyártás nagy teljesítményének fenntartásához.
A Semicera Solid SiC Focus Ringet úgy tervezték, hogy ellenálljon a szélsőséges hőmérsékleteknek és a félvezetőiparban gyakran előforduló agresszív vegyszereknek. Kifejezetten nagy pontosságú feladatokhoz készült, mint plCVD SiC bevonatok, ahol a tisztaság és a tartósság a legfontosabb. Kiváló hősokkállóságának köszönhetően ez a termék egyenletes és stabil teljesítményt biztosít a legzordabb körülmények között is, beleértve a magas hőmérsékletnek való kitettségetostyamaratási folyamatok.
A félvezető alkalmazásokban, ahol a precizitás és a megbízhatóság kulcsfontosságú, a Solid SiC Focus Ring kulcsfontosságú szerepet játszik a maratási folyamatok általános hatékonyságának növelésében. Robusztus, nagy teljesítményű kialakítása tökéletes választássá teszi az olyan iparágakban, ahol nagy tisztaságú alkatrészekre van szükség, amelyek extrém körülmények között is működnek. Függetlenül attól, hogy használjákCVD SiC gyűrűalkalmazásokhoz vagy a plazmamaratási folyamat részeként a Semicera Solid SiC Focus Ring gyűrűje segít optimalizálni a berendezés teljesítményét, és biztosítja a gyártási folyamatok által megkövetelt hosszú élettartamot és megbízhatóságot.
Főbb jellemzők:
• Kiváló kopásállóság és magas hőstabilitás
• Nagy tisztaságú szilárd SiC anyag a meghosszabbított élettartamért
• Ideális plazmamaratáshoz, ICP RIE-hez és száraz maratáshoz
• Tökéletes ostyamaratáshoz, különösen CVD SiC eljárásoknál
• Megbízható teljesítmény extrém környezetben és magas hőmérsékleten
• Pontosságot és hatékonyságot biztosít a szilícium lapkák maratásakor
Alkalmazások:
• CVD SiC eljárások a félvezetőgyártásban
• Plazmamarás és ICP RIE rendszerek
• Száraz maratási és ostyamaratási eljárások
• Maratás és lerakás plazma maratógépekben
• Precíziós alkatrészek ostyagyűrűkhöz és CVD SiC gyűrűkhöz
A CVD SiC felületének mikroszkópos morfológiája
A CVD SiC keresztmetszet mikroszkópos morfológiája
