Leírás
A Semicera SiC Wafer szuszceptorait MOCVD-hez (Metal-Organic Chemical Vapor Deposition) úgy tervezték, hogy megfeleljenek az epitaxiális lerakódási folyamatok szigorú követelményeinek. A kiváló minőségű szilícium-karbidot (SiC) használó szuszceptorok páratlan tartósságot és teljesítményt kínálnak magas hőmérsékletű és korrozív környezetben, biztosítva a félvezető anyagok pontos és hatékony növekedését.
Főbb jellemzők:
1. Kiváló anyagtulajdonságokKiváló minőségű SiC-ből készült ostyás szuszceptoraink kivételes hővezető képességgel és vegyszerállósággal rendelkeznek. Ezek a tulajdonságok lehetővé teszik, hogy ellenálljanak a MOCVD-folyamatok szélsőséges körülményeinek, beleértve a magas hőmérsékletet és a korrozív gázokat, így biztosítva a hosszú élettartamot és a megbízható teljesítményt.
2. Pontosság az epitaxiális lerakódásbanA SiC Wafer Szuceptoraink precíz tervezése egyenletes hőmérsékleteloszlást biztosít az ostya felületén, elősegítve az egyenletes és kiváló minőségű epitaxiális rétegnövekedést. Ez a pontosság kritikus fontosságú az optimális elektromos tulajdonságokkal rendelkező félvezetők előállításához.
3. Fokozott tartósságA robusztus SiC anyag kiváló kopásállóságot és lebomlást biztosít még akkor is, ha folyamatosan durva folyamatkörnyezetnek van kitéve. Ez a tartósság csökkenti a szuszceptorok cseréjének gyakoriságát, minimalizálva az állásidőt és a működési költségeket.
Alkalmazások:
A Semicera SiC Wafer Susceptors for MOCVD ideálisan alkalmas:
• Félvezető anyagok epitaxiális növekedése
• Magas hőmérsékletű MOCVD eljárások
• GaN, AlN és más összetett félvezetők gyártása
• Fejlett félvezetőgyártási alkalmazások
A CVD-SIC bevonatok főbb specifikációi:

Előnyök:
•Nagy pontosságú: Egyenletes és jó minőségű epitaxiális növekedést biztosít.
•Hosszan tartó teljesítmény: A kivételes tartósság csökkenti a csere gyakoriságát.
• Költséghatékonyság: Minimálisra csökkenti a működési költségeket az állásidő és a karbantartás csökkentése révén.
•Sokoldalúság: Testreszabható a különböző MOCVD folyamatkövetelményekhez.






-
41 db 4 hüvelykes grafittalpú MOCVD berendezés ...
-
Szilícium-karbid bevonatú grafit ostyahordozók
-
SiC Epitaxy ostyahordozó
-
Maximalizálja a hozamot és a teljesítményt a Semi-ceras segítségével...
-
Kiváló minőségű szilícium-karbid bevonatú fűtőelem...
-
Szilícium-karbid bevonatú grafit szerszám epitaxiához