Leírás
Alkalmazása során nagyon szoros tűréshatárokat tartunk fennSiC bevonat, nagy pontosságú megmunkálással az egységes szuszceptorprofil biztosítása érdekében. Ideális elektromos ellenállási tulajdonságokkal rendelkező anyagokat is gyártunk induktív fűtésű rendszerekben való használatra. Minden kész alkatrész tisztasági és méretmegfelelőségi tanúsítvánnyal rendelkezik.
Cégünk biztosítjaSiC bevonatgrafit, kerámia és egyéb anyagok felületén CVD-módszerrel végzett feldolgozási szolgáltatások, így speciális szén- és szilíciumtartalmú gázok magas hőmérsékleten reakcióba lépve nagy tisztaságú SiC-molekulákat, a bevont anyagok felületére rakódó molekulákat, SIC védőréteget képezve. A kialakult SIC szilárdan kötődik a grafit alaphoz, különleges tulajdonságokat adva a grafit alapnak, így a grafit felülete kompakt, porozitásmentes, magas hőmérséklet-álló, korrózióálló és oxidációálló.
A CVD-eljárás rendkívül nagy tisztaságot és elméleti sűrűséget biztosítSiC bevonatporozitás nélkül. Sőt, mivel a szilícium-karbid nagyon kemény, tükörszerű felületre polírozható.CVD szilícium-karbid (SiC) bevonatszámos előnnyel rendelkezik, beleértve az ultra-nagy tisztaságú felületet és a rendkívüli kopásállóságot. Mivel a bevont termékek kiváló teljesítményt nyújtanak nagy vákuumban és magas hőmérsékleten, ideálisak a félvezetőiparban és más ultra-tiszta környezetben történő alkalmazásokhoz. Pirolitikus grafit (PG) termékeket is kínálunk.
Főbb jellemzők
1. Magas hőmérsékletű oxidációállóság:
az oxidációállóság még 1600 C-os hőmérsékleten is nagyon jó.
2. Nagy tisztaságú: kémiai gőzleválasztással készült magas hőmérsékletű klórozási körülmények között.
3. Erózióállóság: nagy keménység, tömör felület, finom részecskék.
4. Korrózióállóság: sav, lúg, só és szerves reagensek.
A CVD-SIC bevonatok főbb specifikációi
| SiC-CVD | ||
| Sűrűség | (g/cc) | 3.21 |
| Hajlító szilárdság | (Mpa) | 470 |
| Hőtágulás | (10-6/K) | 4 |
| Hővezetőképesség | (W/mK) | 300 |
Alkalmazás
A CVD szilícium-karbid bevonatot már alkalmazták a félvezető iparban, például a MOCVD tálcát, az RTP-t és az oxid maratókamrát, mivel a szilícium-nitrid nagy hőütésállósággal rendelkezik, és ellenáll a nagy energiájú plazmának.
- A szilícium-karbidot széles körben használják félvezetőkben és bevonatokban.
Alkalmazás
Ellátási képesség:
10000 darab/darab havonta
Csomagolás és szállítás:
Csomagolás: szabványos és erős csomagolás
Polizsák + doboz + karton + raklap
Kikötő:
Ningbo/Shenzhen/Sanghaj
Átfutási idő:
| Mennyiség (darab) | 1-1000 | >1000 |
| Becs. Idő (nap) | 30 | Meg kell tárgyalni |
