RTPCVD SiC gyűrűkszéles körben használják ipari és tudományos területeken, magas hőmérsékleten és korrozív környezetben. Fontos szerepet játszik a félvezetőgyártásban, az optoelektronikában, a precíziós gépgyártásban és a vegyiparban. A konkrét alkalmazások közé tartoznak:
1. Félvezető gyártás:RTP CVD SiC gyűrűkhasználható félvezető berendezések fűtésére és hűtésére, stabil hőmérsékletszabályozást és a folyamat pontosságát és konzisztenciáját biztosítva.
2. Optoelektronika: Kiváló hővezető képessége és magas hőmérséklet-állósága miatt RTPCVD SiC gyűrűklézerek, száloptikai kommunikációs berendezések és optikai alkatrészek támasztó- és hőleadó anyagaként használható.
3. Precíziós gépek: Az RTP CVD SiC gyűrűk precíziós műszerekhez és berendezésekhez használhatók magas hőmérsékletű és korrozív környezetben, például magas hőmérsékletű kemencékben, vákuumeszközökben és vegyi reaktorokban.
4. Vegyipar: Korrózióállósága és kémiai stabilitása miatt az RTP CVD SiC gyűrűk tartályokban, csövekben és reaktorokban használhatók kémiai reakciókban és katalitikus folyamatokban.
Epi rendszer
RTP rendszer
CVD rendszer
A termék teljesítménye:
1. Ismerje meg a folyamatot 28 nm alatt
2. Szuper korrózióállóság
3. Szuper tiszta teljesítmény
4. Szuper keménység
5. Nagy sűrűség
6. Magas hőmérséklet-állóság
7. Kopásállóság
A termék alkalmazása:
A szilícium-karbid anyagok jellemzői a nagy keménység, kopásállóság, korrózióállóság és magas hőmérsékleti stabilitás. A kiváló átfogó teljesítményű termékeket széles körben használják száraz maratási és TF/diffúziós eljárásokban.
A termék teljesítménye:
1. Ismerje meg a folyamatot 28 nm alatt
2. Szuper korrózióállóság
3. Szuper tiszta teljesítmény
4. Szuper keménység
5. Nagy sűrűség
6. Magas hőmérséklet-állóság
7. Kopásállóság
Kompozit folyamatfejlesztés:
• Grafit +SiC bevonat
• Szilárd CVD SiC
• Szinterezett SiC+CVD
• SicSintered SiC
Több terméktípus fejlesztése:
• Gyűrű
• Táblázat
• Szuszceptor
• Zuhanyfej
