PFA kazetta

Rövid leírás:

PFA kazetta– Tapasztalja meg a páratlan vegyszerállóságot és tartósságot a Semicera PFA kazettájával, amely ideális megoldás a félvezetőgyártás során a biztonságos és hatékony lapkakezeléshez.


Termék részletek

Termékcímkék

Semiceraörömmel ajánlja fel aPFA kazetta, prémium választás az ostyák kezelésére olyan környezetben, ahol a vegyszerállóság és a tartósság a legfontosabb. A nagy tisztaságú perfluor-alkoxi (PFA) anyagból készült kazettát úgy tervezték, hogy ellenálljon a félvezetőgyártás legnehezebb körülményeinek, biztosítva az ostyák biztonságát és integritását.

Páratlan vegyszerállóságAPFA kazettaÚgy tervezték, hogy kiváló ellenállást biztosítson a vegyszerek széles skálájával szemben, így tökéletes választás az agresszív savakat, oldószereket és más durva vegyszereket tartalmazó eljárásokhoz. Ez a robusztus vegyszerállóság biztosítja, hogy a kazetta sértetlen és működőképes maradjon még a legkorrozívabb környezetben is, ezáltal meghosszabbítja élettartamát és csökkenti a gyakori cserék szükségességét.

Nagy tisztaságú konstrukcióSemiceraPFA kazettaultratiszta PFA anyagból készül, ami kritikus fontosságú az ostyafeldolgozás során a szennyeződés megelőzésében. Ez a nagy tisztaságú konstrukció minimálisra csökkenti a részecskék képződésének és a vegyi kimosódásnak a kockázatát, biztosítva, hogy ostyái védve legyenek a minőségüket veszélyeztető szennyeződésektől.

Fokozott tartósság és teljesítményA tartósságra tervezve aPFA kazettamegőrzi szerkezeti integritását szélsőséges hőmérsékleten és szigorú feldolgozási körülmények között is. Akár magas hőmérsékletnek van kitéve, akár többszöri kezelésnek van kitéve, ez a kazetta megőrzi alakját és teljesítményét, hosszú távú megbízhatóságot kínálva az igényes gyártási környezetben.

Precíziós tervezés a biztonságos kezeléshezASemicera PFA kazettaprecíz tervezéssel rendelkezik, amely biztosítja a biztonságos és stabil ostyakezelést. Mindegyik nyílást gondosan úgy tervezték meg, hogy az ostyákat biztonságosan a helyükön tartsák, megakadályozva minden elmozdulást vagy elmozdulást, ami károsodást okozhat. Ez a precíziós tervezés támogatja a konzisztens és pontos lapkaelhelyezést, hozzájárulva a folyamat általános hatékonyságához.

Sokoldalú alkalmazás a folyamatokon keresztülKiváló anyagtulajdonságainak köszönhetően aPFA kazettaelég sokoldalú ahhoz, hogy a félvezetőgyártás különböző szakaszaiban használható legyen. Különösen alkalmas nedves maratáshoz, kémiai gőzleválasztáshoz (CVD) és egyéb olyan eljárásokhoz, amelyek durva kémiai környezetet igényelnek. Alkalmazkodóképessége nélkülözhetetlen eszközzé teszi a folyamat integritásának és az ostya minőségének megőrzésében.

Elkötelezettség a minőség és az innováció irántA Semiceránál elkötelezettek vagyunk amellett, hogy a legmagasabb ipari szabványoknak megfelelő termékeket kínáljunk. APFA kazettajól példázza ezt az elkötelezettséget, és megbízható megoldást kínál, amely zökkenőmentesen integrálódik a gyártási folyamatokba. Minden kazetta szigorú minőségellenőrzésen megy keresztül, hogy megbizonyosodjon arról, hogy megfelel a szigorú teljesítménykritériumainknak, és a Semicerától elvárt kiválóságot nyújtja.

Tételek

Termelés

Kutatás

Színlelt

Kristály paraméterek

Politípus

4H

Felületi tájolási hiba

<11-20 >4±0,15°

Elektromos paraméterek

Adalékanyag

n-típusú nitrogén

Ellenállás

0,015-0,025 ohm·cm

Mechanikai paraméterek

Átmérő

150,0±0,2 mm

Vastagság

350±25 μm

Elsődleges lapos tájolás

[1-100]±5°

Elsődleges lapos hossz

47,5±1,5 mm

Másodlagos lakás

Egyik sem

TTV

≤5 μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤3 μm (5mm*5mm)

≤5 μm (5mm*5mm)

≤10 μm (5mm*5mm)

Íj

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Warp

≤35 μm

≤45 μm

≤55 μm

Elülső (Si-felület) érdesség (AFM)

Ra≤0,2nm (5μm*5μm)

Szerkezet

Mikrocső sűrűsége

<1 e/cm2

<10 e/cm2

<15 e/cm2

Fém szennyeződések

≤5E10 atom/cm2

NA

BPD

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

NA

TSD

≤500 e/cm2

≤1000 ea/cm2

NA

Elülső minőség

Elülső

Si

Felületkezelés

Si-face CMP

Részecskék

≤60ea/ostya (méret≥0,3μm)

NA

Karcolások

≤5ea/mm. Összesített hossz ≤ Átmérő

Összesített hossz≤2*Átmérő

NA

Narancsbőr/magok/foltok/csíkok/repedések/szennyeződés

Egyik sem

NA

Élfoszlányok/bemélyedések/törés/hatlaplemezek

Egyik sem

Politípus területek

Egyik sem

Összesített terület ≤ 20%

Összesített terület ≤30%

Elülső lézeres jelölés

Egyik sem

Hátsó minőség

Hátsó befejezés

C-arcú CMP

Karcolások

≤5ea/mm, kumulatív hossz≤2*átmérő

NA

Hátsó hibák (széltöredések/benyomódások)

Egyik sem

Hát érdesség

Ra≤0,2nm (5μm*5μm)

Hátsó lézeres jelölés

1 mm (felső éltől)

Él

Él

Letörés

Csomagolás

Csomagolás

Epi-ready vákuum csomagolással

Több ostyás kazettás csomagolás

*Megjegyzések: Az "NA" azt jelenti, hogy nincs kérés A nem említett tételek SEMI-STD-re vonatkozhatnak.

tech_1_2_size
SiC ostyák

  • Előző:
  • Következő: