Az ostyahordozó bemutatása
TERMÉKKATEGÓRIA
▶Wafer Carrier rendszer PECVD és TALOX folyamatokhoz
• PECVD és TALOX grafitcsónak (M4-M12)
• Függőleges SM-csónak (M4, M6)
• Implantátum és zuhany grafit rész (M4~M6)
• C/C tálca és kerámia bevonat
• Fém RIE-tálca és kerámia bevonat
• Vákuumos tömítés: O-gyűrű és SQ-gyűrű
▶Textúra és nedves maratási átviteli folyamat
• LSC H-hordozó vagy kazettás (M4~M12)
• LSC V-hordozó vagy kazettás (M4~M12)
• ASC hordozó vagy kazetta (M4, M6)
• W/F hordozó és tárolódoboz (M4-M12)
• Szállítókerék (görgő) sorozat
▶Napelem hordozó és fém hordozó
• TRC hordozó vagy kazetta (M4~M12)
• Magazin (övvel)
GRAFIT HAJÓ (H-típus)
19P6-216CT (WF M4~M12)
GRAFIT HAJÓ (H-típus)
21P6-240CT WF M4~M12)
GRAFIT HAJÓ (H-típus)
23P7-308CT (W/F M4~M12)
GRAFIT HAJÓ (H-típus)
22P/7-294TP (W/F M4~M12)
GRAFIT HAJÓ (H-típus)
W182-22P7-294CT (W/F M12)
W182-21P6-240CT (W/F M12)
WF HORDOZÓ ÉS TÁROLÓDOBOZ (~M12)
C/C TÁLCA vagy HORDOZÓ (M4~M10)
C/C TÁLCA vagy HORDOZÓ (M4~M10)
FÜGGŐLEGES HAJÓ (SM) M6
LSC-H-CARRIER (~M12)
LSC-V-CARRIER (~M12)
ASC CARRIER (~M6)
TRC FUVAROZÓ (~M12)
TRC FUVAROZÓ (~M12)
GRAFIT-HAJÓ (M12)
Wafer Carrier rendszer PECVD folyamathoz
▶ GRAFIT BOAT (CT-tervezett) M10/M12 folyamat
• SPECIÁLIS TERVEZÉSI KONCEPCIÓ
▶ GRAFIT BOAT (CT-tervezett) M4/M6 folyamat
▶ csónaktartozékok
▶ FÜGGŐLEGES CSÓNAK – 161,7 mm-ES OSTYA
▶ FÜGGŐLEGES CSÓNAK – 166 mm-ES OSTYA
▶ FÜGGŐLEGES CSÓNAK - 161,7 mm, 166 mm OSTYA
Napelem hordozó és fém TRC hordozó
TÍPUS: Automatizálás
OSTYA MÉRETE: ① 156 × 156 mm ② 156,75 × 156,75 mm
③ 161,7 x 161,7 mm ③ 166 x 166 mm
⑤ 180×180mm ⑥ 210×210mm
HASZNÁLAT: Hordozható (kazettás)
KAPACITÁS: 100 lap
emelkedés: 4,76 mm/5,953 mm/6,35 mm
MÉRETEK: Kb. 559 × 220 × 220 mm
Körülbelül 712 × 260 × 260 mm
ELŐNY: Légkör
ANYAG: LÁNG, OLDALÁRÓ - Alumínium (eloxálás)
OLDALSÓ LEMEZ-POM (Antisztatikus)
Az alsó rúd burkolata - EPDM/PU/VITON (ASE)
TRC-METAL CARRIER (U'SER LINE)
TRC-METAL CARRIER (U'SER LINE)
TRC-METAL CARRIER (U'SER LINE)
ZUHANYLÁNY ÉS IMPLANTÁTUM, HORDOZÓ
