A félvezetőgyártásban használt vékony filmek mindegyike rendelkezik ellenállással, és a filmellenállás közvetlen hatással van az eszköz teljesítményére. Általában nem a fólia abszolút ellenállását mérjük, hanem a lemezellenállással jellemezzük.
Mi a lemezellenállás és a térfogat-ellenállás?
A térfogat-ellenállás, más néven térfogat-ellenállás, az anyag velejárója, amely azt jellemzi, hogy az anyag mennyire akadályozza az elektromos áram áramlását. Az általánosan használt ρ szimbólum jelentése, mértékegysége Ω.
A lemezellenállás, más néven lapellenállás, az angol neve lapellenállás, ami a fólia felületegységre eső ellenállási értékére utal. Az általánosan használt Rs vagy ρs szimbólumok kifejezésére, a mértékegység Ω/sq vagy Ω/□
A kettő közötti kapcsolat: lemezellenállás = térfogat-ellenállás/filmvastagság, azaz Rs =ρ/t
Miért mérjük a lemezellenállást?
A fólia abszolút ellenállásának mérése megköveteli a fólia geometriai méreteinek (hosszúság, szélesség, vastagság) pontos ismeretét, aminek számos változója van, és nagyon bonyolult nagyon vékony vagy szabálytalan alakú filmeknél. A lemezellenállás csak a fólia vastagságától függ, és gyorsan és közvetlenül tesztelhető bonyolult méretszámítások nélkül.
Milyen fóliákra van szükség a lemezellenállás mérésére?
Általában a vezető fóliák és a félvezető fóliák négyzetes ellenállását meg kell mérni, míg a szigetelő fóliák esetében nem kell mérni.
A félvezető adalékolásnál a szilícium lemezellenállását is mérik.
Hogyan mérjük a négyzetes ellenállást?
A négyszondás módszert általában az iparban használják. A négyszondás módszerrel 1E-3 és 1E+9Ω/sq közötti négyzetes ellenállás mérhető. A négyszondás módszerrel elkerülhetők a szonda és a minta közötti érintkezési ellenállás miatti mérési hibák.
Mérési módszerek:
1) Helyezzen négy lineárisan elrendezett szondát a minta felületére.
2) Alkalmazzon állandó áramot a két külső szonda közé.
3) Határozza meg az ellenállást a két belső szonda közötti potenciálkülönbség mérésével
RS: lemezellenállás
ΔV: A belső szondák között mért feszültségváltozás
I: A külső szondák között alkalmazott áram
Feladás időpontja: 2024. március 29