Szilícium-karbid kerámia alkalmazása félvezető térben

Félvezetők:

A félvezetőipar az „egy technológiai generáció, egy folyamatgeneráció és egy generációs berendezés” ipari törvényét követi, és a félvezető berendezések korszerűsítése és iterációja nagymértékben függ a precíziós alkatrészek technológiai áttörésétől. Közülük a precíziós kerámia alkatrészek a legreprezentatívabb félvezető precíziós alkatrészek anyagai, amelyek fontos alkalmazási területük van számos olyan fő félvezető-gyártási kapcsolatban, mint a kémiai gőzleválasztás, a fizikai gőzleválasztás, az ionimplantáció és a maratás. Ilyenek a csapágyak, vezetősínek, bélések, elektrosztatikus tokmányok, mechanikus kezelőkarok stb. Különösen a berendezés üregében tölti be a támogatás, a védelem és az elterelés szerepét.

640

2023 óta Hollandia és Japán is sorra bocsátott ki új szabályozásokat vagy külkereskedelmi rendeleteket az ellenőrzésről, hozzáadva a félvezető berendezésekre, köztük a litográfiai gépekre vonatkozó exportengedély-szabályokat, és fokozatosan megjelent a félvezető antiglobalizáció tendenciája. Az ellátási lánc független ellenőrzésének jelentősége egyre hangsúlyosabbá vált. A félvezető berendezések alkatrészeinek lokalizálása iránti kereslet miatt a hazai vállalatok aktívan támogatják az ipari fejlődést. A Zhongci Electronics megvalósította a csúcstechnológiás precíziós alkatrészek, például fűtőlemezek és elektrosztatikus tokmányok lokalizációját, megoldva a hazai félvezető berendezések iparának „szűk keresztmetszete” problémáját; A Dezhi New Materials, a SiC bevonatú grafit alapok és SiC maratógyűrűk vezető hazai szállítója sikeresen teljesített 100 millió jüan finanszírozást stb.
Nagy vezetőképességű szilícium-nitrid kerámia hordozók:

A szilícium-nitrid kerámia szubsztrátumokat főként tisztán elektromos járművek (EV) és hibrid elektromos járművek (HEV) tápegységeiben, félvezető eszközeiben és invertereiben használják, és hatalmas piaci potenciállal és alkalmazási kilátásokkal rendelkeznek.

640 (1)

Jelenleg a nagy hővezető képességű szilícium-nitrid kerámia szubsztrát anyagok kereskedelmi alkalmazásokhoz ≥85 W/(m·K) hővezető képességet, ≥650MPa hajlítószilárdságot és 5~7MPa·m1/2 törésállóságot igényelnek. Azok a vállalatok, amelyek valóban képesek nagy hővezető képességű szilícium-nitrid kerámia szubsztrátumok tömeggyártására, főként a Toshiba Group, a Hitachi Metals, a Japan Electric Chemical, a Japan Maruwa és a Japan Fine Ceramics.

A szilícium-nitrid kerámia hordozóanyagokkal kapcsolatos hazai kutatások is némi előrehaladást értek el. A Sinoma High-Tech Nitride Ceramics Co., Ltd. pekingi fiókja szalagöntési eljárásával előállított szilícium-nitrid kerámia hordozó hővezető képessége 100 W/(m·K); A Beijing Sinoma Artificial Crystal Research Institute Co., Ltd. sikeresen készített egy szilícium-nitrid kerámia hordozót, amelynek hajlítószilárdsága 700-800 MPa, törési szívóssága ≥8 ​​MPa·m1/2 és hővezető képessége ≥80 W/(m·K) a szinterezési módszer és folyamat optimalizálásával.


Feladás időpontja: 2024.10.29