A lézeres mikrosugárvágó (LMJ) berendezések a félvezetőiparban használhatók

Rövid leírás:

A lézeres mikrojet technológia (LMJ) egy lézeres feldolgozási módszer, amely a lézert „olyan vékony, mint egy hajszálvékony” vízsugárral kombinálja, és a lézersugarat pontosan a feldolgozási pozícióba vezeti a mikro-vízsugárban lévő impulzus teljes visszaverődésén keresztül. hasonló a hagyományos optikai szálhoz. A vízsugár folyamatosan hűti a vágási területet, és hatékonyan távolítja el a feldolgozási törmeléket.


Termék részletek

Termékcímkék

Az LMJ feldolgozás előnyei

A rendszeres lézeres feldolgozás veleszületett hibái kiküszöbölhetők a lézer Laser Micro jet (LMJ) technológia okos használatával a víz és a levegő optikai jellemzőinek terjesztésére. Ez a technológia lehetővé teszi, hogy a feldolgozott nagy tisztaságú vízsugárban teljesen visszaverődő lézerimpulzusok zavartalan módon elérjék a megmunkálási felületet, mint az optikai szálban.

Microjet lézeres feldolgozó berendezés-2-3
fcghjdxfrg

Az LMJ technológia főbb jellemzői:

1. A lézersugár oszlopos (párhuzamos) szerkezet.

2. A lézerimpulzus a vízsugárban optikai szálként továbbítódik, környezeti interferencia nélkül.

3. Az LMJ berendezésben a lézersugár fókuszált, és a megmunkált felület magassága a teljes feldolgozási folyamat során nem változik, így a feldolgozás során a feldolgozási mélység változásával nem kell folytatni a fókuszálást.

4. Folyamatosan tisztítsa meg a felületet.

mikrosugaras lézervágási technológia (1)

5. A munkadarab anyagának minden egyes lézerimpulzus általi ablációja mellett, minden egyes impulzus elejétől a következő impulzusig egységnyi idő alatt a feldolgozott anyag az idő körülbelül 99%-ában valós idejű hűtővíz állapotban van. , amely szinte megszünteti a hőhatást okozó zónát és az átolvadt réteget, de megőrzi a feldolgozás magas hatékonyságát.

zsdfgafdeg

Általános specifikáció

LCSA-100

LCSA-200

Munkalap hangereje

125 x 200 x 100

460×460×300

XY lineáris tengely

Lineáris motor. Lineáris motor

Lineáris motor. Lineáris motor

Lineáris tengely Z

100

300

Pozícionálási pontosság μm

+/- 5

+/- 3

Ismételt pozicionálási pontosság μm

+/- 2

+/- 1

Gyorsulás G

0.5

1

Numerikus vezérlés

3 tengelyes

3 tengelyes

Laser

 

 

Lézeres típus

DPSS Nd: YAG

DPSS Nd: YAG, impulzus

Hullámhossz nm

532/1064

532/1064

Névleges teljesítmény W

50/100/200

200/400

Vízsugár

 

 

A fúvóka átmérője μm

25-80

25-80

Fúvóka nyomás bar

100-600

0-600

Méret/Súly

 

 

Méretek (gép) (Sz x M x Ma)

1050 x 800 x 1870

1200 x 1200 x 2000

Méretek (kapcsolószekrény) (Sz x M x Ma)

700 x 2300 x 1600

700 x 2300 x 1600

Súly (felszerelés) kg

1170

2500-3000

Súly (kapcsolószekrény) kg

700-750

700-750

Átfogó energiafogyasztás

 

 

Input

AC 230 V +6%/ -10%, egyirányú 50/60 Hz ±1%

AC 400 V +6%/-10%, 3-fázisú 50/60 Hz ±1%

Csúcsérték

2,5 kVA

2,5 kVA

Join

10 m-es tápkábel: P+N+E, 1,5 mm2

10 m-es tápkábel: P+N+E, 1,5 mm2

Félvezetőipari felhasználói alkalmazási kör

≤4 hüvelykes kerek ingot

≤4 hüvelykes rúdszeletek

≤ 4 hüvelykes ingot feliratozás

 

≤6 hüvelykes kerek ingot

≤6 hüvelykes rúdszeletek

≤6 hüvelykes ingot feliratozás

A gép megfelel a 8 hüvelykes kör/szeletelés/szeletelés elméleti értékének, és a konkrét gyakorlati eredményeket optimalizálni kell a vágási stratégiát

ZFVBsdF
mikrosugaras lézervágási technológia (1)
mikrosugaras lézervágási technológia (2)

Semicera Munkahely Semicera munkahely 2 Berendezés gép CNN feldolgozás, vegyi tisztítás, CVD bevonat A mi szolgáltatásunk


  • Előző:
  • Következő: