Izosztatikus PECVD grafit csónak

Izosztatikus PECVD Graphite Boat kiemelt kép

Rövid leírás:

Az izosztatikus PECVD grafitcsónakot széles körben használják a félvezetőgyártás különböző szakaszaiban, mint például poliszilícium film leválasztás, oxidfilm leválasztás, nitrid film leválasztás stb. Kiváló teljesítménye ideális ostyahordozóvá teszi a PECVD folyamatban.

Küldjön e-mailt nekünk

Termék részletek

Termékcímkék

A SEMICERA izosztatikus PECVD grafitcsónak egy nagy tisztaságú, nagy sűrűségű grafittermék, amelyet a PECVD (plazmanövelt kémiai gőzlerakódás) ostya alátámasztására terveztek. A SEMICERA fejlett izosztatikus préselési technológiát használ annak biztosítására, hogy a grafitcsónak kiváló magas hőmérséklet-állósággal, korrózióállósággal, méretstabilitással és jó hővezető képességgel rendelkezzen, ami nélkülözhetetlen fogyóeszköz a félvezető gyártási folyamatban.

A SEMICERA izosztatikus PECVD grafitcsónak a következő előnyökkel rendelkezik:

▪ Nagy tisztaságú: A grafitanyag nagy tisztaságú és alacsony szennyeződés tartalmú, hogy elkerülje az ostya felületének szennyeződését.

▪ Nagy sűrűség: Nagy sűrűség, nagy mechanikai szilárdság, ellenáll a magas hőmérsékletnek és a nagy vákuumnak.

▪ Jó méretstabilitás: Kis méretváltozás magas hőmérsékleten a folyamat stabilitásának biztosítása érdekében.

▪ Kiváló hővezető képesség: Hatékony hőátadás az ostya túlmelegedésének megakadályozása érdekében.

▪ Erős korrózióállóság: Ellenáll a különböző korrozív gázok és plazma által okozott eróziónak.

Teljesítmény paraméter	semicera	SGL R6510	Teljesítmény paraméter
Térfogatsűrűség (g/cm3)	1.91	1.83	1.85
Hajlítószilárdság (MPa)	63	60	49
Nyomószilárdság (MPa)	135	130	103
Shore keménység (HS)	70	64	60
Hőtágulási együttható (10-6/K)	85	105	130
Hőtágulási együttható (10-6/K)	5.85	4.2	5.0
Ellenállás (μΩm)	11-13	13	10

Előnyök, ha minket választ:
▪ Anyagválasztás: A termék minőségének biztosítása érdekében nagy tisztaságú grafit anyagokat használnak.
▪ Feldolgozási technológia: Izosztatikus préselést alkalmaznak a termék sűrűségének és egyenletességének biztosítására.
▪ Méretreszabás: Különböző méretű és formájú grafitcsónakok az ügyfelek igényei szerint testreszabhatók.
▪ Felületkezelés: Különféle felületkezelési módszerek állnak rendelkezésre, mint például bevonat szilícium-karbid, bór-nitrid stb., hogy megfeleljenek a különböző folyamatkövetelményeknek.