A Semicera kiváló minőségű félvezetőket mutat beszilícium-karbid konzolos lapátok, amelyet úgy terveztek, hogy megfeleljen a modern félvezetőgyártás szigorú követelményeinek.
Aszilícium-karbid lapátfejlett kialakítása minimálisra csökkenti a hőtágulást és a vetemedést, így rendkívül megbízható extrém körülmények között is. Robusztus felépítése megnövelt tartósságot biztosít, csökkentve a törés vagy kopás kockázatát, ami kritikus fontosságú a magas hozamok és az állandó gyártási minőség megőrzésében. Aostyahajóa tervezés zökkenőmentesen integrálható a szabványos félvezető-feldolgozó berendezésekkel is, biztosítva a kompatibilitást és az egyszerű használatot.
A Semicera egyik kiemelkedő tulajdonságaSiC lapáta vegyszerállósága, amely lehetővé teszi, hogy kiemelkedően jól teljesítsen korrozív gázoknak és vegyszereknek kitett környezetben. A Semicera személyre szabott megoldásai személyre szabott megoldásokat tesznek lehetővé.
| Az újrakristályosított szilícium-karbid fizikai tulajdonságai | |
| Ingatlan | Tipikus érték |
| Üzemi hőmérséklet (°C) | 1600°C (oxigénnel), 1700°C (redukáló környezet) |
| SiC tartalom | > 99,96% |
| Ingyenes Si tartalom | < 0,1% |
| Térfogatsűrűség | 2,60-2,70 g/cm3 |
| Látszólagos porozitás | < 16% |
| Nyomószilárdság | > 600 MPa |
| Hideg hajlítószilárdság | 80-90 MPa (20°C) |
| Meleg hajlítószilárdság | 90-100 MPa (1400°C) |
| Hőtágulás 1500°C-on | 4,70 10-6/°C |
| Hővezetőképesség @1200°C | 23 W/m•K |
| Rugalmassági modulus | 240 GPa |
| Hőütésállóság | Rendkívül jó |
