Nagy tisztaságú SiC hordozó/szuszceptor

Rövid leírás:

A szilícium-karbid csapágytárcsa más néven SIC tálca, szilícium-karbid maratótárcsa, ICP maratótárcsa. Szilícium-karbid tálca LED maratáshoz (SiC tálca) φ600mm egy speciális tartozék a mély szilícium maratáshoz (ICP maratógép).

Küldjön e-mailt nekünk

Termék részletek

Termékcímkék

Leírás

A szilícium-karbid kerámiák szobahőmérsékleten kiváló mechanikai tulajdonságokkal rendelkeznek, mint például nagy szilárdság, nagy keménység, nagy rugalmassági modulus stb., kiváló magas hőmérsékleti stabilitása is van, például nagy hővezető képességgel, alacsony hőtágulási együtthatóval és jó fajlagos merevséggel és optikai tulajdonságokkal rendelkezik. feldolgozási teljesítmény.
Különösen alkalmasak precíziós kerámia alkatrészek gyártására integrált áramköri berendezésekhez, például litográfiai gépekhez, amelyeket főként SiC hordozó/szuszceptor, SiC ostyahajó, szívókorong, vízhűtő lemez, precíziós mérőreflektor, rács és egyéb kerámia szerkezeti alkatrészek gyártására használnak.

szállító2

szállító3

szállító4

Előnyök

Magas hőmérsékletállóság: normál használat 1800 ℃-on
Magas hővezető képesség: egyenértékű a grafit anyaggal
Nagy keménység: a keménység a gyémánt és a bór-nitrid után a második
Korrózióállóság: az erős sav és lúg nem korróziót okoz, a korrózióállóság jobb, mint a volfrám-karbid és az alumínium-oxid
Könnyű súly: alacsony sűrűségű, közel az alumíniumhoz
Nincs deformáció: alacsony hőtágulási együttható
Hősokkállóság: ellenáll az éles hőmérsékletváltozásoknak, ellenáll a hősokknak, és stabil teljesítményt nyújt
A szilícium-karbid hordozót, mint például a sic maratási hordozót, az ICP maratási szuszceptort, széles körben használják félvezető CVD-ben, vákuumporlasztásban stb. Ügyfeleink számára testreszabott szilícium és szilícium-karbid anyagokból készült lapkahordozókat tudunk biztosítani a különböző alkalmazásokhoz.

Előnyök

Ingatlan	Érték	Módszer
Sűrűség	3,21 g/cc	Mosogató-úszó és méret
Fajlagos hő	0,66 J/g °K	Pulzáló lézer vaku
Hajlító szilárdság	450 MPa560 MPa	4 pontos hajlítás, RT4 pontos hajlítás, 1300°
Törési szívósság	2,94 MPa m1/2	Mikrobehúzás
Keménység	2800	Vicker's, 500g teher
Elasztikus ModulusYoung modulja	450 GPa430 GPa	4 pt ív, RT4 pt ív, 1300 °C
Szemcseméret	2-10 µm	SEM

Vállalati profil

A WeiTai Energy Technology Co., Ltd. a fejlett félvezető kerámiák vezető szállítója, és az egyetlen gyártó Kínában, amely egyidejűleg tud nagy tisztaságú szilícium-karbid kerámiát (különösen az újrakristályosított SiC) és CVD SiC bevonatot biztosítani. Cégünk emellett elkötelezett a kerámia területén is, mint például a timföld, alumínium-nitrid, cirkónium-oxid, szilícium-nitrid stb.

Főbb termékeink a következők: szilícium-karbid maratókorong, szilícium-karbid csónakkóc, szilícium-karbid ostyahajó (Photovoltaic&Semiconductor), szilícium-karbid kemencecső, szilícium-karbid konzolos lapát, szilícium-karbid tokmány, szilícium-karbid gerenda, valamint a CVD tartó és a SiC. bevonat. A főként a félvezető- és a fotovoltaikus iparban használt termékek, mint például a kristálynövesztő, epitaxiás, maratási, csomagolási, bevonó- és diffúziós kemencék stb.
körülbelül (2)