Egyedi félvezető ICP tálca (rézkarc)

Rövid leírás:

A Semicera Energy Technology Co., Ltd. az ostyákra és a fejlett félvezető fogyóeszközökre szakosodott vezető szállító.Elkötelezettek vagyunk amellett, hogy kiváló minőségű, megbízható és innovatív termékeket biztosítsunk a félvezetőgyártás számára,fotovoltaikus iparés más kapcsolódó területeken.

Termékcsaládunk SiC/TaC bevonatú grafittermékeket és kerámiatermékeket tartalmaz, amelyek különböző anyagokat foglalnak magukban, mint például a szilícium-karbid, a szilícium-nitrid és az alumínium-oxid stb.

Megbízható beszállítóként megértjük a fogyóeszközök fontosságát a gyártási folyamatban, és elkötelezettek vagyunk amellett, hogy a legmagasabb minőségi előírásoknak megfelelő termékeket szállítsunk ügyfeleink igényeinek kielégítésére.

 

Termék részletek

Termékcímkék

Termékleírás

Cégünk grafit, kerámia és egyéb anyagok felületén CVD módszerrel SiC bevonatolási eljárási szolgáltatásokat nyújt, így speciális szén- és szilíciumtartalmú gázok magas hőmérsékleten reakcióba lépve nagy tisztaságú SiC molekulákat, a bevont anyagok felületén lerakódott molekulákat, SIC védőréteget képez.

Főbb jellemzők:

1. Magas hőmérsékletű oxidációállóság:

az oxidációállóság még 1600 C-os hőmérsékleten is nagyon jó.

2. Nagy tisztaságú: kémiai gőzleválasztással készült magas hőmérsékletű klórozási körülmények között.

3. Erózióállóság: nagy keménység, tömör felület, finom részecskék.

4. Korrózióállóság: sav, lúg, só és szerves reagensek.

3

A CVD-SIC bevonat főbb specifikációi

SiC-CVD tulajdonságai

Kristályszerkezet

FCC β fázis

Sűrűség

g/cm³

3.21

Keménység

Vickers keménység

2500

Szemcseméret

μm

2~10

Kémiai tisztaság

%

99.99995

Hőkapacitás

J·kg-1 ·K-1

640

Szublimációs hőmérséklet

2700

Felexurális Erő

MPa (RT 4 pontos)

415

Young's Modulus

Gpa (4 pont kanyar, 1300 ℃)

430

Hőtágulás (CTE)

10-6K-1

4.5

Hővezetőképesség

(W/mK)

300


  • Előző:
  • Következő: