A semicera kék/zöld LED-epitaxiája élvonalbeli megoldásokat kínál a nagy teljesítményű LED-gyártáshoz. A fejlett epitaxiális növekedési folyamatok támogatására tervezett semicera Blue/green LED epitaxy technológiája fokozza a hatékonyságot és a pontosságot a kék és zöld LED-ek előállításában, amelyek kritikusak a különböző optoelektronikai alkalmazásokban. A legmodernebb Si Epitaxy és SiC Epitaxy felhasználásával ez a megoldás kiváló minőséget és tartósságot biztosít.
A gyártási folyamatban a MOCVD Susceptor kulcsfontosságú szerepet játszik az olyan komponensekkel együtt, mint a PSS Etching Carrier, ICP Etching Carrier és RTP Carrier, amelyek optimalizálják az epitaxiális növekedési környezetet. A Semicera kék/zöld LED-epitaxiáját úgy tervezték, hogy stabil támogatást nyújtson a LED epitaxiális szuszceptorhoz, hordószuszceptorhoz és monokristályos szilíciumhoz, biztosítva a következetes, kiváló minőségű eredményeket.
Ez az epitaxiás folyamat létfontosságú a fotovoltaikus alkatrészek létrehozásához, és támogatja az olyan alkalmazásokat, mint a GaN a SiC Epitaxy-n, javítva a félvezetők általános hatékonyságát. Akár Pancake Susceptor konfigurációban, akár más fejlett beállításokban használják, a semicera kék/zöld LED-es epitaxiás megoldásai megbízható teljesítményt nyújtanak, segítve a gyártókat a kiváló minőségű LED-komponensek iránti növekvő kereslet kielégítésében.
Főbb jellemzők:
1. Magas hőmérsékletű oxidációállóság:
az oxidációállóság még 1600 C-os hőmérsékleten is nagyon jó.
2. Nagy tisztaságú: kémiai gőzleválasztással készült magas hőmérsékletű klórozási körülmények között.
3. Erózióállóság: nagy keménység, tömör felület, finom részecskék.
4. Korrózióállóság: sav, lúg, só és szerves reagensek.
Fő specifikációiCVD-SIC bevonat
| SiC-CVD tulajdonságai | ||
| Kristályszerkezet | FCC β fázis | |
| Sűrűség | g/cm³ | 3.21 |
| Keménység | Vickers keménység | 2500 |
| Szemcseméret | μm | 2~10 |
| Kémiai tisztaság | % | 99.99995 |
| Hőkapacitás | J·kg-1 ·K-1 | 640 |
| Szublimációs hőmérséklet | ℃ | 2700 |
| Felexurális Erő | MPa (RT 4 pontos) | 415 |
| Young's Modulus | Gpa (4 pont kanyar, 1300 ℃) | 430 |
| Hőtágulás (CTE) | 10-6K-1 | 4.5 |
| Hővezetőképesség | (W/mK) | 300 |
