Semicerabemutatja a850 V nagy teljesítményű GaN-on-Si Epi Wafer, áttörés a félvezető innovációban. Ez a fejlett epi ostya egyesíti a gallium-nitrid (GaN) nagy hatékonyságát a szilícium (Si) költséghatékonyságával, így hatékony megoldást kínál a nagyfeszültségű alkalmazásokhoz.
Főbb jellemzők:
•Nagyfeszültségű kezelés: A 850 V-ig terjedő feszültség támogatására tervezett GaN-on-Si Epi Wafer ideális az igényes teljesítményelektronikához, nagyobb hatékonyságot és teljesítményt biztosítva.
•Fokozott teljesítménysűrűség: Kiváló elektronmobilitással és hővezető képességgel a GaN technológia kompakt kialakítást és nagyobb teljesítménysűrűséget tesz lehetővé.
•Költséghatékony megoldás: A szilícium hordozóként való felhasználásával ez az epi szelet költséghatékony alternatívát kínál a hagyományos GaN lapkákhoz, anélkül, hogy kompromisszumot kellene kötni a minőségben vagy a teljesítményben.
•Széles alkalmazási kör: Tökéletesen használható teljesítmény-átalakítókban, RF erősítőkben és más nagy teljesítményű elektronikus eszközökben, biztosítva a megbízhatóságot és a tartósságot.
Fedezze fel a nagyfeszültségű technológia jövőjét a Semicera's segítségével850 V nagy teljesítményű GaN-on-Si Epi Wafer. A legmodernebb alkalmazásokhoz tervezett termék biztosítja, hogy elektronikus eszközei maximális hatékonysággal és megbízhatósággal működjenek. Válassza a Semicerát a következő generációs félvezetői igényekhez.
| Tételek | Termelés | Kutatás | Színlelt |
| Kristály paraméterek | |||
| Politípus | 4H | ||
| Felületi tájolási hiba | <11-20 >4±0,15° | ||
| Elektromos paraméterek | |||
| Adalékanyag | n-típusú nitrogén | ||
| Ellenállás | 0,015-0,025 ohm·cm | ||
| Mechanikai paraméterek | |||
| Átmérő | 150,0±0,2 mm | ||
| Vastagság | 350±25 μm | ||
| Elsődleges lapos tájolás | [1-100]±5° | ||
| Elsődleges lapos hossz | 47,5±1,5 mm | ||
| Másodlagos lakás | Egyik sem | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Íj | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Elülső (Si-felület) érdesség (AFM) | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Szerkezet | |||
| Mikrocső sűrűsége | <1 e/cm2 | <10 e/cm2 | <15 e/cm2 |
| Fém szennyeződések | ≤5E10 atom/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 e/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Elülső minőség | |||
| Elülső | Si | ||
| Felületkezelés | Si-face CMP | ||
| Részecskék | ≤60ea/ostya (méret≥0,3μm) | NA | |
| Karcolások | ≤5ea/mm. Összesített hossz ≤ Átmérő | Összesített hossz≤2*Átmérő | NA |
| Narancsbőr/magok/foltok/csíkok/repedések/szennyeződés | Egyik sem | NA | |
| Élfoszlányok/bemélyedések/törés/hatlaplemezek | Egyik sem | ||
| Politípus területek | Egyik sem | Összesített terület ≤ 20% | Összesített terület ≤30% |
| Elülső lézeres jelölés | Egyik sem | ||
| Hátsó minőség | |||
| Hátsó befejezés | C-arcú CMP | ||
| Karcolások | ≤5ea/mm, kumulatív hossz≤2*átmérő | NA | |
| Hátsó hibák (széltöredések/benyomódások) | Egyik sem | ||
| Hát érdesség | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Hátsó lézeres jelölés | 1 mm (a felső széltől) | ||
| Él | |||
| Él | Letörés | ||
| Csomagolás | |||
| Csomagolás | Epi-ready vákuum csomagolással Több ostyás kazettás csomagolás | ||
| *Megjegyzések: Az "NA" azt jelenti, hogy nincs kérés A nem említett tételek SEMI-STD-re vonatkozhatnak. | |||
