A szilícium-karbid (SiC) egykristályos anyag nagy sávszélességgel (~Si 3-szor), magas hővezető képességgel (~Si 3,3-szoros vagy GaAs 10-szeres), nagy elektrontelítési vándorlási sebességgel (~Si 2,5-szeres), nagy elektromos áttöréssel rendelkezik. mező (~Si 10-szer vagy GaAs 5-ször) és egyéb kiemelkedő jellemzők.
A harmadik generációs félvezető anyagok közé elsősorban a SiC, GaN, gyémánt stb. tartozik, mivel sávszélessége (Eg) nagyobb vagy egyenlő, mint 2,3 elektronvolt (eV), más néven szélessávú félvezető anyagok. Az első és a második generációs félvezető anyagokkal összehasonlítva a harmadik generációs félvezető anyagok előnye a nagy hővezetőképesség, a nagy áttörési elektromos mező, a nagy telített elektronvándorlási sebesség és a nagy kötési energia, amelyek megfelelnek a modern elektronikai technológia új követelményeinek a nagy teljesítmény érdekében. hőmérséklet, nagy teljesítmény, nagy nyomás, nagyfrekvenciás és sugárzásállóság és egyéb zord körülmények. Fontos alkalmazási lehetőségei vannak a honvédelem, a légi közlekedés, az űrhajózás, az olajkutatás, az optikai tárolás stb. területén, és több mint 50%-kal csökkentheti az energiaveszteséget számos stratégiai iparágban, mint például a szélessávú kommunikáció, a napenergia, az autógyártás, félvezető világítás és intelligens hálózat, és több mint 75%-kal csökkentheti a berendezések mennyiségét, ami mérföldkő jelentőségű a humán tudomány és technológia fejlődése szempontjából.
A Semicera Energy kiváló minőségű vezetőképes (vezetőképes), félszigetelő (félszigetelő), HPSI (nagy tisztaságú félszigetelő) szilícium-karbid hordozót tud biztosítani az ügyfeleknek; Ezen kívül homogén és heterogén szilícium-karbid epitaxiális lemezeket is tudunk biztosítani vásárlóink számára; Az epitaxiális lapot az ügyfelek egyedi igényei szerint is testre szabhatjuk, és nincs minimális rendelési mennyiség.
| Tételek | Termelés | Kutatás | Színlelt |
| Kristály paraméterek | |||
| Politípus | 4H | ||
| Felületi tájolási hiba | <11-20 >4±0,15° | ||
| Elektromos paraméterek | |||
| Adalékanyag | n-típusú nitrogén | ||
| Ellenállás | 0,015-0,025 ohm·cm | ||
| Mechanikai paraméterek | |||
| Átmérő | 150,0±0,2 mm | ||
| Vastagság | 350±25 μm | ||
| Elsődleges lapos tájolás | [1-100]±5° | ||
| Elsődleges lapos hossz | 47,5±1,5 mm | ||
| Másodlagos lakás | Egyik sem | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Íj | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Elülső (Si-felület) érdesség (AFM) | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Szerkezet | |||
| Mikrocső sűrűsége | <1 e/cm2 | <10 e/cm2 | <15 e/cm2 |
| Fém szennyeződések | ≤5E10 atom/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 e/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Elülső minőség | |||
| Elülső | Si | ||
| Felületkezelés | Si-face CMP | ||
| Részecskék | ≤60ea/ostya (méret≥0,3μm) | NA | |
| Karcolások | ≤5ea/mm. Összesített hossz ≤ Átmérő | Összesített hossz≤2*Átmérő | NA |
| Narancsbőr/magok/foltok/csíkok/repedések/szennyeződés | Egyik sem | NA | |
| Élfoszlányok/bemélyedések/törés/hatlaplemezek | Egyik sem | ||
| Politípus területek | Egyik sem | Összesített terület ≤ 20% | Összesített terület ≤30% |
| Elülső lézeres jelölés | Egyik sem | ||
| Hátsó minőség | |||
| Hátsó befejezés | C-arcú CMP | ||
| Karcolások | ≤5ea/mm, kumulatív hossz≤2*átmérő | NA | |
| Hátsó hibák (széltöredések/benyomódások) | Egyik sem | ||
| Hát érdesség | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Hátsó lézeres jelölés | 1 mm (a felső széltől) | ||
| Él | |||
| Él | Letörés | ||
| Csomagolás | |||
| Csomagolás | Epi-ready vákuum csomagolással Több ostyás kazettás csomagolás | ||
| *Megjegyzések: Az "NA" azt jelenti, hogy nincs kérés A nem említett tételek SEMI-STD-re vonatkozhatnak. | |||
