Semicerabüszkén mutatja be a30 mm-es alumínium-nitrid ostya hordozó, egy csúcsminőségű anyag, amelyet úgy terveztek, hogy megfeleljen a modern elektronikai és optoelektronikai alkalmazások szigorú követelményeinek. Az alumínium-nitrid (AlN) hordozók kiváló hővezető képességükről és elektromos szigetelési tulajdonságaikról híresek, így ideális választás a nagy teljesítményű eszközökhöz.
Főbb jellemzők:
• Kivételes hővezető képesség: A30 mm-es alumínium-nitrid ostya hordozóakár 170 W/mK hővezető képességgel büszkélkedhet, ami lényegesen magasabb, mint más hordozóanyagoknál, így hatékony hőelvezetést biztosít nagy teljesítményű alkalmazásoknál.
•Magas elektromos szigetelés: Kiváló elektromos szigetelő tulajdonságával ez a hordozó minimálisra csökkenti az áthallást és a jel interferenciát, így ideális RF és mikrohullámú alkalmazásokhoz.
•Mechanikai szilárdság: A30 mm-es alumínium-nitrid ostya hordozókiváló mechanikai szilárdságot és stabilitást kínál, amely még szigorú üzemi körülmények között is biztosítja a tartósságot és a megbízhatóságot.
•Sokoldalú alkalmazások: Ez a szubsztrát kiválóan alkalmas nagy teljesítményű LED-ekben, lézerdiódákban és RF alkatrészekben való használatra, robusztus és megbízható alapot biztosítva a legigényesebb projektekhez.
•Precíziós gyártás: A Semicera biztosítja, hogy minden ostyahordozó a legnagyobb pontossággal készüljön, egyenletes vastagságot és felületi minőséget kínálva, hogy megfeleljen a fejlett elektronikus eszközök szigorú szabványainak.
Maximalizálja eszközei hatékonyságát és megbízhatóságát a Semicera's segítségével30 mm-es alumínium-nitrid ostya hordozó. Aljzatainkat úgy tervezték, hogy kiváló teljesítményt nyújtsanak, biztosítva, hogy elektronikus és optoelektronikai rendszerei a lehető legjobban működjenek. Bízzon a Semicerában az élvonalbeli anyagokban, amelyek vezető szerepet töltenek be az iparágban a minőség és az innováció terén.
Tételek | Termelés | Kutatás | Színlelt |
Kristály paraméterek | |||
Politípus | 4H | ||
Felületi tájolási hiba | <11-20 >4±0,15° | ||
Elektromos paraméterek | |||
Adalékanyag | n-típusú nitrogén | ||
Ellenállás | 0,015-0,025 ohm·cm | ||
Mechanikai paraméterek | |||
Átmérő | 150,0±0,2 mm | ||
Vastagság | 350±25 μm | ||
Elsődleges lapos tájolás | [1-100]±5° | ||
Elsődleges lapos hossz | 47,5±1,5 mm | ||
Másodlagos lakás | Egyik sem | ||
TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
Íj | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
Elülső (Si-felület) érdesség (AFM) | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
Szerkezet | |||
Mikrocső sűrűsége | <1 e/cm2 | <10 e/cm2 | <15 e/cm2 |
Fém szennyeződések | ≤5E10 atom/cm2 | NA | |
BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
TSD | ≤500 e/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
Elülső minőség | |||
Elülső | Si | ||
Felületkezelés | Si-face CMP | ||
Részecskék | ≤60ea/ostya (méret≥0,3μm) | NA | |
Karcolások | ≤5ea/mm. Összesített hossz ≤ Átmérő | Összesített hossz≤2*Átmérő | NA |
Narancsbőr/magok/foltok/csíkok/repedések/szennyeződés | Egyik sem | NA | |
Élfoszlányok/bemélyedések/törés/hatlaplemezek | Egyik sem | ||
Politípus területek | Egyik sem | Összesített terület ≤ 20% | Összesített terület ≤30% |
Elülső lézeres jelölés | Egyik sem | ||
Hátsó minőség | |||
Hátsó befejezés | C-arcú CMP | ||
Karcolások | ≤5ea/mm, kumulatív hossz≤2*átmérő | NA | |
Hátsó hibák (széltöredések/benyomódások) | Egyik sem | ||
Hát érdesség | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
Hátsó lézeres jelölés | 1 mm (a felső széltől) | ||
Él | |||
Él | Letörés | ||
Csomagolás | |||
Csomagolás | Epi-ready vákuum csomagolással Több ostyás kazettás csomagolás | ||
*Megjegyzések: Az "NA" azt jelenti, hogy nincs kérés A nem említett tételek SEMI-STD-re vonatkozhatnak. |