Semicera10x10 mm-es, nem poláris M-síkú alumínium hordozóaprólékosan úgy tervezték, hogy megfeleljen a fejlett optoelektronikai alkalmazások szigorú követelményeinek. Ez a hordozó nem poláris M-sík orientációval rendelkezik, ami kritikus a polarizációs hatások csökkentésében olyan eszközökben, mint a LED-ek és lézerdiódák, ami fokozott teljesítményt és hatékonyságot eredményez.
A10x10 mm-es, nem poláris M-síkú alumínium hordozókivételes kristályos minőséggel készült, minimális hibasűrűséget és kiváló szerkezeti integritást biztosítva. Ez ideális választássá teszi a kiváló minőségű III-nitrid fóliák epitaxiális növekedéséhez, amelyek elengedhetetlenek a következő generációs optoelektronikai eszközök fejlesztéséhez.
A Semicera precíziós tervezése biztosítja, hogy minden10x10 mm-es, nem poláris M-síkú alumínium hordozóegyenletes vastagságot és felületi síkságot kínál, amelyek elengedhetetlenek az egyenletes filmlerakáshoz és az eszközgyártáshoz. Ezenkívül az aljzat kompakt mérete alkalmassá teszi mind kutatási, mind gyártási környezetben, lehetővé téve a rugalmas felhasználást különféle alkalmazásokban. Kiváló termikus és kémiai stabilitásával ez a szubsztrátum megbízható alapot nyújt a legmodernebb optoelektronikai technológiák fejlesztéséhez.
| Tételek | Termelés | Kutatás | Színlelt |
| Kristály paraméterek | |||
| Politípus | 4H | ||
| Felületi tájolási hiba | <11-20 >4±0,15° | ||
| Elektromos paraméterek | |||
| Adalékanyag | n-típusú nitrogén | ||
| Ellenállás | 0,015-0,025 ohm·cm | ||
| Mechanikai paraméterek | |||
| Átmérő | 150,0±0,2 mm | ||
| Vastagság | 350±25 μm | ||
| Elsődleges lapos tájolás | [1-100]±5° | ||
| Elsődleges lapos hossz | 47,5±1,5 mm | ||
| Másodlagos lakás | Egyik sem | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Íj | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Elülső (Si-felület) érdesség (AFM) | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Szerkezet | |||
| Mikrocső sűrűsége | <1 e/cm2 | <10 e/cm2 | <15 e/cm2 |
| Fém szennyeződések | ≤5E10 atom/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 e/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Elülső minőség | |||
| Elülső | Si | ||
| Felületkezelés | Si-face CMP | ||
| Részecskék | ≤60ea/ostya (méret≥0,3μm) | NA | |
| Karcolások | ≤5ea/mm. Összesített hossz ≤ Átmérő | Összesített hossz≤2*Átmérő | NA |
| Narancsbőr/magok/foltok/csíkok/repedések/szennyeződés | Egyik sem | NA | |
| Élfoszlányok/bemélyedések/törés/hatlaplemezek | Egyik sem | ||
| Politípus területek | Egyik sem | Összesített terület ≤ 20% | Összesített terület ≤30% |
| Elülső lézeres jelölés | Egyik sem | ||
| Hátsó minőség | |||
| Hátsó befejezés | C-arcú CMP | ||
| Karcolások | ≤5ea/mm, kumulatív hossz≤2*átmérő | NA | |
| Hátsó hibák (széltöredések/benyomódások) | Egyik sem | ||
| Hát érdesség | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Hátsó lézeres jelölés | 1 mm (a felső széltől) | ||
| Él | |||
| Él | Letörés | ||
| Csomagolás | |||
| Csomagolás | Epi-ready vákuum csomagolással Több ostyás kazettás csomagolás | ||
| *Megjegyzések: Az "NA" azt jelenti, hogy nincs kérés A nem említett tételek SEMI-STD-re vonatkozhatnak. | |||
