A Semicera kiváló minőségű egyedi termékeket mutat beszilícium-karbid konzolos lapátokA félvezető gyártási folyamatok emelésére készült. Az innovatívSiC lapátA dizájn kivételes tartósságot és magas hőállóságot biztosít, így az ostyák kezelésének nélkülözhetetlen eleme a kihívást jelentő magas hőmérsékletű környezetben.
ASzilícium-karbid lapátÚgy épült, hogy ellenálljon a szélsőséges hőciklusoknak, miközben megőrzi a szerkezeti integritást, biztosítva a megbízható szeletszállítást a félvezetőgyártás kritikus fázisaiban. Kiváló mechanikai szilárdsággal, ezostyahajóminimalizálja az ostyák sérülésének kockázatát, ami magasabb hozamot és egyenletes gyártási minőséget eredményez.
A Semicera SiC lapátjának egyik legfontosabb újítása az egyedi tervezési lehetőségekben rejlik. A speciális gyártási igényekre szabott lapát rugalmasan integrálható a különféle berendezésekkel, így ideális megoldás a modern gyártási folyamatokhoz. A könnyű, de robusztus felépítés egyszerű kezelést tesz lehetővé és csökkenti az üzemi állásidőt, hozzájárulva a félvezetőgyártás hatékonyságának javulásához.
Termikus és mechanikai tulajdonságai mellett aSzilícium-karbid lapátkiváló vegyszerállóságot kínál, lehetővé téve a megbízható működést még durva kémiai környezetben is. Ez különösen alkalmassá teszi maratással, lerakással és magas hőmérsékletű kezeléssel járó eljárásokban történő felhasználásra, ahol az ostyahajó integritásának megőrzése elengedhetetlen a kiváló minőségű kimenetek biztosításához.
| Az újrakristályosított szilícium-karbid fizikai tulajdonságai | |
| Ingatlan | Tipikus érték |
| Üzemi hőmérséklet (°C) | 1600°C (oxigénnel), 1700°C (redukáló környezet) |
| SiC tartalom | > 99,96% |
| Ingyenes Si tartalom | < 0,1% |
| Térfogatsűrűség | 2,60-2,70 g/cm3 |
| Látszólagos porozitás | < 16% |
| Nyomószilárdság | > 600 MPa |
| Hideg hajlítószilárdság | 80-90 MPa (20°C) |
| Meleg hajlítószilárdság | 90-100 MPa (1400°C) |
| Hőtágulás 1500°C-on | 4,70 10-6/°C |
| Hővezetőképesség @1200°C | 23 W/m•K |
| Rugalmassági modulus | 240 GPa |
| Hőütésállóság | Rendkívül jó |
